ग्रेनाइट एयर बेयरिङ सिस्टमहरू व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छअति-परिशुद्धताअर्धचालक निर्माण, अप्टिकल पङ्क्तिबद्धता, र न्यानोमिटर-स्केल मेट्रोलोजीको लागि गति प्लेटफर्महरू।
यी प्रणालीहरूले पातलो दबाबयुक्त हावा फिल्म प्रयोग गरेर यान्त्रिक सम्पर्क हटाउँछन्, लगभग शून्य घर्षण गति प्राप्त गर्छन्।
हावा असर सिद्धान्त
एयर बेयरिङहरूले दुई सतहहरू बीच संकुचित हावा परिचय गराएर २-२० माइक्रोमिटर एयर फिल्म बनाउँछन्।
यसले हटाउँछ:
- यान्त्रिक घर्षण
- लगाउनु
- स्टिक-स्लिप व्यवहार
यो प्रणाली तरल फिल्म गतिशीलता र स्थिर ल्यामिनार प्रवाहमा निर्भर गर्दछ।
ग्रेनाइटको भूमिका
ग्रेनाइटले प्रदान गर्दछ:
- संरचनात्मक स्थिरता
- थर्मल ड्रिफ्ट सप्रेसन
- कम्पन ड्याम्पिङ
यसले गति प्रणालीको लागि यान्त्रिक सन्दर्भ आधारको रूपमा काम गर्दछ।
प्रणाली कम्पोनेन्टहरू
- ग्रेनाइट आधार
- एयर बेयरिङ प्याडहरू
- हावा आपूर्ति प्रणाली
- प्रेसिजन एन्कोडरहरू
- गति नियन्त्रण प्रणाली
प्रदर्शन विशेषताहरू
सामान्य प्रदर्शनमा समावेश छ:
- उप-माइक्रोन स्थिति शुद्धता
- लामो यात्रामा उच्च सीधापन
- शून्य यान्त्रिक प्रतिक्रिया
प्रमुख त्रुटि स्रोतहरूमा हावाको चाप अस्थिरता, थर्मल ड्रिफ्ट, र एन्कोडर त्रुटि समावेश छन्।
अनुप्रयोगहरू
- अर्धचालक वेफर निरीक्षण
- लिथोग्राफी प्रणालीहरू
- अप्टिकल पङ्क्तिबद्ध प्लेटफर्महरू
- उच्चस्तरीय मापन मेसिनहरू
सोधिने प्रश्न
के एयर बियरिङहरू बिग्रन्छन्?
कुनै पनि यान्त्रिक सम्पर्कले घिस्रने समस्या हटाउँदैन।
ग्रेनाइट किन प्रयोग गर्ने?
स्थिरता र कम्पन ड्याम्पिङको लागि।
केले शुद्धतालाई सीमित गर्छ?
हावा स्थिरता र तापीय प्रभावहरू।
के तिनीहरूले गह्रौं भारी बोक्न सक्छन्?
हो, डिजाइनमा निर्भर गर्दै।
पोस्ट समय: जुलाई-०३-२०२६