चिप निर्माणको प्रमुख लिङ्क - वेफर स्क्यानिङमा, उपकरणको शुद्धताले चिपको गुणस्तर निर्धारण गर्छ। उपकरणको एक महत्त्वपूर्ण घटकको रूपमा, ग्रेनाइट मेसिन आधारको थर्मल विस्तार समस्याले धेरै ध्यान आकर्षित गरेको छ।
ग्रेनाइटको थर्मल विस्तारको गुणांक सामान्यतया ४ र ८×१०⁻⁶/℃ बीचमा हुन्छ, जुन धातु र मार्बलको भन्दा धेरै कम हुन्छ। यसको अर्थ जब तापक्रम परिवर्तन हुन्छ, यसको आकार अपेक्षाकृत थोरै परिवर्तन हुन्छ। यद्यपि, यो ध्यान दिनुपर्छ कि कम थर्मल विस्तारको अर्थ कुनै थर्मल विस्तार छैन भन्ने होइन। अत्यधिक तापमान उतारचढाव अन्तर्गत, थोरै विस्तारले पनि वेफर स्क्यानिङको न्यानोस्केल शुद्धतालाई असर गर्न सक्छ।
वेफर स्क्यानिङ प्रक्रियाको क्रममा, थर्मल विस्तार हुनुका धेरै कारणहरू छन्। कार्यशालामा तापक्रमको उतारचढाव, उपकरणका कम्पोनेन्टहरूको सञ्चालनबाट उत्पन्न हुने ताप, र लेजर प्रशोधनद्वारा ल्याइएको तत्काल उच्च तापक्रमले ग्रेनाइट आधारलाई "तापमान परिवर्तनका कारण विस्तार र संकुचित" बनाउँछ। एक पटक आधार थर्मल विस्तारबाट गुज्रिएपछि, गाइड रेलको सीधापन र प्लेटफर्मको समतलता विचलित हुन सक्छ, जसको परिणामस्वरूप वेफर टेबलको गलत गति प्रक्षेपण हुन्छ। समर्थन गर्ने अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू पनि परिवर्तन हुनेछन्, जसले गर्दा स्क्यानिङ बीम "विचलित" हुनेछ। लामो समयसम्म निरन्तर काम गर्दा त्रुटिहरू पनि जम्मा हुनेछन्, जसले गर्दा शुद्धता झन् झन् खराब हुनेछ।
तर चिन्ता नगर्नुहोस्। मानिसहरूसँग पहिले नै समाधानहरू छन्। सामग्रीको सन्दर्भमा, थर्मल विस्तारको कम गुणांक भएका ग्रेनाइट नसहरू चयन गरिनेछ र बुढ्यौली उपचारको अधीनमा राखिनेछ। तापक्रम नियन्त्रणको सन्दर्भमा, कार्यशालाको तापक्रम २३±०.५℃ वा अझ कममा ठीकसँग नियन्त्रण गरिन्छ, र आधारको लागि सक्रिय ताप अपव्यय उपकरण पनि डिजाइन गरिनेछ। संरचनात्मक डिजाइनको सन्दर्भमा, सममित संरचनाहरू र लचिलो समर्थनहरू अपनाइन्छ, र तापमान सेन्सरहरू मार्फत वास्तविक-समय निगरानी गरिन्छ। थर्मल विकृतिको कारणले हुने त्रुटिहरू एल्गोरिदमहरूद्वारा गतिशील रूपमा सच्याइन्छ।
ASML लिथोग्राफी मेसिन जस्ता उच्च-अन्त उपकरणहरूले यी विधिहरू मार्फत ग्रेनाइट आधारको थर्मल विस्तार प्रभावलाई अत्यन्तै सानो दायरा भित्र राख्छन्, जसले गर्दा वेफर स्क्यानिङ शुद्धता न्यानोमिटर स्तरमा पुग्न सक्षम हुन्छ। त्यसकारण, जबसम्म यो उचित रूपमा नियन्त्रण गरिन्छ, ग्रेनाइट आधार वेफर स्क्यानिङ उपकरणहरूको लागि एक भरपर्दो विकल्प रहन्छ।
पोस्ट समय: जुन-१२-२०२५