ग्रेनाइट यसको असाधारण यान्त्रिक गुण र टिकाउपनको कारणले वेफर प्रशोधन उद्योगमा एक लोकप्रिय सामग्री हो। यो एक प्राकृतिक ढुङ्गा हो जुन विश्वभरका खानीहरूबाट उत्खनन गरिन्छ र शताब्दीयौंदेखि अर्धचालक उपकरणहरूको निर्माण सहित विभिन्न निर्माण उद्देश्यका लागि प्रयोग हुँदै आएको छ। यस लेखमा, हामी ग्रेनाइटको गुणहरू र वेफर प्रशोधन उपकरणहरूमा यसको विभिन्न प्रयोगहरूको बारेमा छलफल गर्नेछौं।
ग्रेनाइटका गुणहरू
ग्रेनाइट एक आग्नेय चट्टान हो जुन अभ्रक, फेल्डस्पार र क्वार्ट्ज मिलेर बनेको हुन्छ। यो यसको असाधारण शक्ति, कठोरता र टिकाउपनको लागि परिचित छ, जसले गर्दा यसलाई उच्च परिशुद्धता र शुद्धता चाहिने अनुप्रयोगहरूको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ। ग्रेनाइटमा थर्मल विस्तारको कम गुणांक हुन्छ, जसको अर्थ यो तापक्रम परिवर्तनका कारण विस्तार वा संकुचित हुँदैन, जसले गर्दा यसलाई अत्यधिक स्थिर बनाउँछ। थप रूपमा, ग्रेनाइट जंग र रसायनहरूको प्रतिरोधी छ, जसले यसलाई कठोर वातावरणमा प्रयोगको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ।
वेफर प्रशोधन उपकरणमा ग्रेनाइटको प्रयोग
ग्रेनाइट यसको अद्वितीय गुण संयोजनको कारणले वेफर प्रशोधन उद्योगमा व्यापक रूपमा प्रयोग हुने सामग्री हो। वेफर प्रशोधन उपकरणहरूमा ग्रेनाइटको केही प्रयोगहरू निम्न छन्:
१. मापन उपकरणहरू
ग्रेनाइट सामान्यतया निर्देशांक मापन मेसिन (CMMs) र अप्टिकल मापन प्रणाली जस्ता मापन उपकरणहरूको निर्माणमा प्रयोग गरिन्छ। यी उपकरणहरूलाई कम्पन र ताप प्रतिरोध गर्न सक्ने स्थिर सतहहरू चाहिन्छ। ग्रेनाइटको उच्च कठोरता र कम थर्मल विस्तारले यसलाई त्यस्ता अनुप्रयोगहरूको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ।
२. वेफर चकहरू
उत्पादन प्रक्रियाको क्रममा वेफरहरू समात्न वेफर चकहरू प्रयोग गरिन्छ। वेफरलाई वार्पिङ वा झुक्नबाट रोक्नको लागि यी चकहरूलाई समतल र स्थिर सतह चाहिन्छ। ग्रेनाइटले समतल सतह प्रदान गर्दछ जुन अत्यधिक स्थिर र वार्पिङ प्रतिरोधी हुन्छ, जसले गर्दा यसलाई वेफर चकहरूको लागि उत्कृष्ट सामग्री बनाइन्छ।
३. केमिकल मेकानिकल पालिसिङ (CMP) उपकरणहरू
उत्पादन प्रक्रियाको क्रममा वेफरहरूलाई पालिस गर्न CMP उपकरणहरू प्रयोग गरिन्छ। यी उपकरणहरूलाई कम्पन र ताप प्रतिरोध गर्न सक्ने स्थिर प्लेटफर्म चाहिन्छ। ग्रेनाइटको उत्कृष्ट कठोरता र कम थर्मल विस्तारले यसलाई CMP उपकरणहरूको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ।
४. वेफर निरीक्षण उपकरण
वेफर निरीक्षण उपकरण दोष र कमजोरीहरूको लागि वेफरहरूको निरीक्षण गर्न प्रयोग गरिन्छ। यी उपकरणहरूलाई सही मापन सुनिश्चित गर्न स्थिर र समतल सतह चाहिन्छ। ग्रेनाइटले स्थिर र समतल सतह प्रदान गर्दछ जुन वार्पिङ प्रतिरोधी हुन्छ, जसले यसलाई वेफर निरीक्षण उपकरणको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ।
निष्कर्ष
निष्कर्षमा, ग्रेनाइट यसको असाधारण मेकानिकल गुणहरू र टिकाउपनको कारणले वेफर प्रशोधन उद्योगमा व्यापक रूपमा प्रयोग हुने सामग्री हो। यो सामान्यतया मेट्रोलोजी उपकरणहरू, वेफर चकहरू, CMP उपकरणहरू, र वेफर निरीक्षण उपकरणहरूको निर्माणमा प्रयोग गरिन्छ। गुणहरूको अद्वितीय संयोजनले यसलाई उच्च परिशुद्धता र शुद्धता चाहिने अनुप्रयोगहरूको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ। यसको धेरै फाइदाहरूको साथ, ग्रेनाइट वेफर प्रशोधन उपकरणहरूको लागि लोकप्रिय विकल्प बनेको छ, र भविष्यमा यसको प्रयोग बढ्ने सम्भावना छ।
पोस्ट समय: डिसेम्बर-२७-२०२३