ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू तिनीहरूको उच्च स्थिरता र टिकाउपनको कारणले अर्धचालक उपकरणहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। तिनीहरू अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाहरूको शुद्धता र शुद्धता कायम राख्न जिम्मेवार छन्। यद्यपि, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको प्रभावकारिता र विश्वसनीयता तिनीहरूको डिजाइन, निर्माण र स्थापनाको क्रममा कायम राखिएका मापदण्ड र विशिष्टताहरूमा निर्भर गर्दछ।
अर्धचालक उपकरणहरूमा ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू प्रयोग गर्दा पालना गर्नुपर्ने केही मापदण्ड र विशिष्टताहरू निम्न छन्:
१. सामग्रीको घनत्व: ग्रेनाइट कम्पोनेन्टको निर्माणमा प्रयोग हुने ग्रेनाइट सामग्रीको घनत्व लगभग २.६५ ग्राम/सेमी३ हुनुपर्छ। यो प्राकृतिक ग्रेनाइट सामग्रीको घनत्व हो, र यसले ग्रेनाइट कम्पोनेन्टको गुणहरूमा स्थिरता र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्दछ।
२. समतलता: अर्धचालक उपकरणहरूमा प्रयोग हुने ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको लागि समतलता सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण विशिष्टताहरू मध्ये एक हो। ग्रेनाइट सतहको समतलता ०.००१ मिमी/मीटर२ भन्दा कम हुनुपर्छ। यसले कम्पोनेन्टको सतह समतल र समतल छ भनी सुनिश्चित गर्दछ, जुन अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाहरूको लागि आवश्यक छ।
३. सतहको फिनिश: ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको सतहको फिनिश उच्च गुणस्तरको हुनुपर्छ, सतहको खुरदरापन ०.४µm भन्दा कम हुनुपर्छ। यसले ग्रेनाइट कम्पोनेन्टको सतहमा घर्षणको कम गुणांक सुनिश्चित गर्दछ, जुन अर्धचालक उपकरणहरूको सहज सञ्चालनको लागि महत्त्वपूर्ण छ।
४. थर्मल एक्सपेन्सन कोइफिसिएन्ट: सेमीकन्डक्टर उपकरणहरू फरक तापक्रममा सञ्चालन हुन्छन्, र ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू विकृति बिना थर्मल उतारचढावहरू सहन सक्षम हुनुपर्छ। सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूमा प्रयोग हुने ग्रेनाइटको थर्मल एक्सपेन्सन कोइफिसिएन्ट २ x १०^-६ /°C भन्दा कम हुनुपर्छ।
५. आयामी सहिष्णुता: ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको कार्यसम्पादनको लागि आयामी सहिष्णुता महत्त्वपूर्ण छ। सबै महत्वपूर्ण आयामहरूको लागि ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको आयामी सहिष्णुता ±०.१ मिमी भित्र हुनुपर्छ।
६. कठोरता र पहिरन प्रतिरोध: अर्धचालक उपकरणहरूमा प्रयोग हुने ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको लागि कठोरता र पहिरन प्रतिरोध आवश्यक विशिष्टताहरू हुन्। ग्रेनाइटमा मोह्स स्केल ६-७ को कठोरता छ, जसले यसलाई अर्धचालक उपकरण अनुप्रयोगहरूमा प्रयोगको लागि उपयुक्त सामग्री बनाउँछ।
७. इन्सुलेशन कार्यसम्पादन: सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूमा प्रयोग हुने ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूमा संवेदनशील इलेक्ट्रोनिक कम्पोनेन्टहरूलाई क्षति हुनबाट रोक्नको लागि उत्कृष्ट इन्सुलेशन कार्यसम्पादन हुनुपर्छ। विद्युतीय प्रतिरोध १०^९ Ω/सेमी भन्दा माथि हुनुपर्छ।
८. रासायनिक प्रतिरोध: ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने सामान्य रसायनहरू, जस्तै एसिड र क्षार प्रतिरोधी हुनुपर्छ।
निष्कर्षमा, अर्धचालक उपकरणहरूमा प्रयोग हुने ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको लागि मापदण्ड र विशिष्टताहरू कम्पोनेन्टहरू र तिनीहरूमा प्रयोग हुने उपकरणहरू दुवैको दीर्घायु र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्न महत्त्वपूर्ण छन्। माथिका दिशानिर्देशहरू डिजाइन, निर्माण र स्थापना प्रक्रियाहरूको क्रममा कडाईका साथ पालना गरिनुपर्छ ताकि कम्पोनेन्टहरू उच्चतम गुणस्तरका छन् भनी सुनिश्चित गर्न सकियोस्। यी मापदण्ड र विशिष्टताहरू पालना गरेर, अर्धचालक निर्माताहरूले आफ्नो उपकरणको कार्यसम्पादन इष्टतम रहन्छ भनी सुनिश्चित गर्न सक्छन्, जसले गर्दा उत्पादकता र नाफा बढ्छ।
पोस्ट समय: मार्च-२०-२०२४