धेरै वर्षदेखि अर्धचालक उपकरणहरूको निर्माण र डिजाइनमा ग्रेनाइट व्यापक रूपमा प्रयोग हुँदै आएको छ। यो यसको उत्कृष्ट गुणहरूको कारणले हो, जसले यसलाई धेरै अनुप्रयोगहरूको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ। ग्रेनाइट लगाउने, क्षरण गर्ने र थर्मल झट्काको लागि अत्यधिक प्रतिरोधी छ, जसले यसलाई कठोर वातावरणमा प्रयोगको लागि उपयुक्त बनाउँछ। यस लेखमा, हामी अर्धचालक उपकरणहरूमा ग्रेनाइटको केही सामान्य प्रयोगहरूको बारेमा छलफल गर्नेछौं।
१. मापन उपकरण
अर्धचालक उपकरणहरूको आयाम र गुणहरू मापन गर्न मेट्रोलोजी उपकरण प्रयोग गरिन्छ। यसको उच्च आयामी स्थिरताको कारणले गर्दा ग्रेनाइट प्रायः यस्ता उपकरणहरूको आधारको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। ग्रेनाइट सतहको समतलता र शुद्धताले सही मापनको लागि एक आदर्श सन्दर्भ प्रदान गर्दछ। थप रूपमा, ग्रेनाइटको थर्मल स्थिरताले तापमान भिन्नताका कारण आयामी परिवर्तनहरूको जोखिम कम गर्दछ।
२. अप्टिकल उपकरण
ग्रेनाइट लिथोग्राफी मेसिन जस्ता अप्टिकल उपकरणहरूमा पनि प्रयोग गरिन्छ, जुन अर्धचालक उपकरणहरूको निर्माणमा प्रयोग गरिन्छ। ग्रेनाइट आधारले यी मेसिनहरूमा प्रयोग हुने उच्च-परिशुद्धता अप्टिक्सको लागि स्थिर प्लेटफर्म प्रदान गर्दछ। ग्रेनाइटको उत्कृष्ट कम्पन ड्याम्पेनिङ गुणहरूले अप्टिक्सको प्रदर्शन र शुद्धतालाई असर गर्न सक्ने कम्पनहरू कम गर्न पनि मद्दत गर्दछ।
३. वेफर प्रशोधन उपकरण
अर्धचालक वेफर प्रशोधनमा सफाई, नक्काशी र निक्षेपण सहित धेरै चरणहरू समावेश हुन्छन्। वेफर प्रशोधन उपकरणका धेरै घटकहरूमा ग्रेनाइट प्रयोग गरिन्छ। उदाहरणका लागि, ग्रेनाइटलाई रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) उपकरणको लागि सब्सट्रेटको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जुन सिलिकन वेफरहरूमा पातलो फिल्महरू निक्षेपण गर्न प्रयोग गरिन्छ। ग्रेनाइटलाई नक्काशी कक्षहरू र अन्य प्रक्रिया भाँडाहरूको निर्माणमा पनि प्रयोग गरिन्छ, जहाँ यसको उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध र आयामी स्थिरता आवश्यक छ।
४. परीक्षण उपकरण
अर्धचालक उपकरणहरूको कार्यसम्पादन र गुणस्तर प्रमाणित गर्न परीक्षण उपकरणहरू प्रयोग गरिन्छ। यसको उच्च कठोरता र स्थिरताको कारणले गर्दा ग्रेनाइट प्रायः परीक्षण उपकरणहरूको आधारको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। ग्रेनाइटले एक गैर-चुम्बकीय र गैर-चालक प्लेटफर्म प्रदान गर्दछ जसले संवेदनशील परीक्षण उपकरणहरूमा हस्तक्षेप हटाउँछ। ग्रेनाइट सतहको समतलता र परिशुद्धताले अत्यधिक सटीक परीक्षण परिणामहरूको लागि अनुमति दिन्छ।
निष्कर्ष
निष्कर्षमा, ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणको डिजाइन र निर्माणमा एक महत्त्वपूर्ण सामग्री हो। यसको उत्कृष्ट गुणहरू, जसमा आयामी स्थिरता, थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध, र कम्पन ड्याम्पेनिङ समावेश छ, ले यसलाई धेरै अनुप्रयोगहरूको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ। ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणका धेरै महत्वपूर्ण घटकहरूमा प्रयोग गरिन्छ, जसमा मेट्रोलोजी उपकरण, अप्टिकल उपकरण, वेफर प्रशोधन उपकरण, र परीक्षण उपकरण समावेश छन्। छिटो, साना र अधिक शक्तिशाली अर्धचालक उपकरणहरूको माग बढ्दै जाँदा, अर्धचालक उपकरणहरूमा ग्रेनाइटको प्रयोग आवश्यक रहने सम्भावना छ।
पोस्ट समय: अप्रिल-०८-२०२४