ग्रेनाइट यसको उत्कृष्ट यान्त्रिक गुणहरू, थर्मल स्थिरता, र थर्मल विस्तारको कम गुणांकको लागि अर्धचालक उद्योगमा सामान्य रूपमा प्रयोग हुने सामग्री हो। यद्यपि, उच्च परिशुद्धता र उत्पादकताको बढ्दो मागसँगै, वैकल्पिक सामग्रीहरू अर्धचालक उपकरण घटकहरूको निर्माणको लागि व्यवहार्य विकल्पहरूको रूपमा देखा परेका छन्। यस लेखमा, हामी अर्धचालक उपकरणहरूमा ग्रेनाइट भागहरूको लागि केही वैकल्पिक सामग्रीहरूको अन्वेषण गर्नेछौं र तिनीहरूका फाइदा र बेफाइदाहरूको तुलना गर्नेछौं।
ग्रेनाइट पार्ट्सका लागि वैकल्पिक सामग्रीहरू
१. गिलास-सिरेमिक सामग्रीहरू
सिलिकनको नजिक रहेको कम थर्मल विस्तार गुणांकको कारणले गर्दा, जेरोडर र सर्भिट जस्ता गिलास-सिरेमिक सामग्रीहरूले अर्धचालक उद्योगमा व्यापक प्रयोग प्राप्त गरेका छन्। फलस्वरूप, यी सामग्रीहरूले अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा राम्रो थर्मल स्थिरता र बढेको परिशुद्धता प्रदान गर्न सक्छन्। विशेष गरी, जेरोडरमा उच्च स्तरको एकरूपता र स्थिरता छ, जसले यसलाई लिथोग्राफी उपकरणहरूको निर्माणको लागि उपयुक्त बनाउँछ।
फाइदा:
- थर्मल विस्तारको कम गुणांक
- उच्च परिशुद्धता र स्थिरता
- उच्च-तापमान अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त
बेफाइदाहरू:
- ग्रेनाइटको तुलनामा उच्च लागत
- तुलनात्मक रूपमा भंगुर, मेसिनिङ र ह्यान्डलिङमा चुनौतीहरू निम्त्याउन सक्छ
२. सिरेमिक
सिरेमिक सामग्रीहरू, जस्तै एल्युमिनियम अक्साइड (Al2O3), सिलिकन कार्बाइड (SiC), र सिलिकन नाइट्राइड (Si3N4), उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरू, उच्च-तापमान प्रतिरोध, र कम थर्मल विस्तार गुणांक छन्। यी गुणहरूले सिरेमिकहरूलाई अर्धचालक उपकरण भागहरूको लागि आदर्श बनाउँछ जसलाई उच्च थर्मल स्थिरता र परिशुद्धता चाहिन्छ, जस्तै वेफर चरणहरू र चकहरू।
फाइदा:
- उच्च थर्मल स्थिरता र शक्ति
- कम थर्मल विस्तार गुणांक
- उच्च पहिरन प्रतिरोध र रासायनिक जडता
बेफाइदाहरू:
- विशेष गरी मेसिनिङ र ह्यान्डलिङको समयमा, भंगुर र फुट्ने सम्भावना हुन सक्छ।
- सिरेमिकको मेसिनिङ र पालिसिङ चुनौतीपूर्ण र समय लाग्ने हुन सक्छ।
३. धातुहरू
स्टेनलेस स्टील र टाइटेनियम जस्ता धातुमा आधारित सामग्रीहरू, तिनीहरूको उत्कृष्ट मेशिनेबिलिटी र उच्च शक्तिको कारणले गर्दा केही अर्धचालक उपकरण भागहरूको लागि प्रयोग गरिएको छ। तिनीहरू सामान्यतया अनुप्रयोगहरूमा प्रयोग गरिन्छ जहाँ उच्च थर्मल स्थिरता आवश्यक पर्दैन, जस्तै चेम्बर भागहरू, कपलिंगहरू, र फिडथ्रुहरू।
फाइदा:
- राम्रो मेसिनबिलिटी र वेल्डेबिलिटी
- उच्च शक्ति र लचकता
- केही वैकल्पिक सामग्रीहरूको तुलनामा कम लागत
बेफाइदाहरू:
- उच्च थर्मल विस्तार गुणांक
- थर्मल विस्तार समस्याहरूको कारणले गर्दा उच्च-तापमान अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त छैन।
- क्षरण र प्रदूषणको लागि संवेदनशील
निष्कर्ष:
संक्षेपमा, ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणका भागहरूको लागि लोकप्रिय विकल्प भएको छ, तर वैकल्पिक सामग्रीहरू देखा परेका छन्, प्रत्येकका अद्वितीय फाइदा र बेफाइदाहरू छन्। गिलास-सिरेमिक सामग्रीहरू अत्यधिक सटीक र स्थिर हुन्छन् तर भंगुर हुन सक्छन्। सिरेमिकहरू बलियो हुन्छन् र उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता हुन्छ तर भंगुर पनि हुन सक्छन्, जसले गर्दा तिनीहरूलाई निर्माण गर्न अझ चुनौतीपूर्ण बनाउँछ। धातुहरू सस्तो, मेसिनयोग्य र नरम हुन्छन्, तर तिनीहरूमा थर्मल विस्तारको उच्च गुणांक हुन्छ र जंग र प्रदूषणको लागि संवेदनशील हुन्छन्। अर्धचालक उपकरणको लागि सामग्रीहरू छनौट गर्दा, अनुप्रयोगको विशिष्ट आवश्यकताहरूलाई विचार गर्नु र लागत, प्रदर्शन र विश्वसनीयता सन्तुलन गर्ने सामग्रीहरू छनौट गर्नु महत्त्वपूर्ण छ।
पोस्ट समय: मार्च-१९-२०२४