अर्धचालक उपकरणहरूमा ग्रेनाइट भागहरूको लागि वैकल्पिक सामग्रीहरू के हुन्?ग्रेनाइटको तुलनामा यी वैकल्पिक सामग्रीहरूको फाइदा र हानि के हो?

ग्रेनाइट यसको उत्कृष्ट मेकानिकल गुण, थर्मल स्थिरता, र थर्मल विस्तार को कम गुणांक को लागी सेमीकन्डक्टर उद्योग मा एक सामान्यतः प्रयोग सामाग्री भएको छ।यद्यपि, उच्च परिशुद्धता र उत्पादकताको लागि बढ्दो मागको साथ, वैकल्पिक सामग्री अर्धचालक उपकरण घटकहरूको निर्माणको लागि व्यवहार्य विकल्पहरूको रूपमा देखा परेको छ।यस लेखमा, हामी अर्धचालक उपकरणहरूमा ग्रेनाइट भागहरूको लागि केही वैकल्पिक सामग्रीहरू अन्वेषण गर्नेछौं र तिनीहरूका फाइदाहरू र बेफाइदाहरू तुलना गर्नेछौं।

ग्रेनाइट भागहरूको लागि वैकल्पिक सामग्री

1. ग्लास-सिरेमिक सामग्री

ग्लास-सिरेमिक सामग्रीहरू, जस्तै Zerodur र Cervit, तिनीहरूको कम थर्मल विस्तार गुणांकको कारण अर्धचालक उद्योगमा व्यापक प्रयोग भएको छ, जुन सिलिकनको नजिक छ।फलस्वरूप, यी सामग्रीहरूले अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा राम्रो थर्मल स्थिरता र परिष्कृत परिशुद्धता प्रदान गर्न सक्छ।Zerodur, विशेष गरी, एकरूपता र स्थिरता को एक उच्च डिग्री छ, यो लिथोग्राफी उपकरण को निर्माण को लागी उपयुक्त बनाउँछ।

फाइदा:

- थर्मल विस्तार को कम गुणांक
- उच्च परिशुद्धता र स्थिरता
- उच्च-तापमान अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त

बेफाइदाहरू:

- ग्रेनाइटको तुलनामा उच्च लागत
- तुलनात्मक रूपमा भंगुर, मेसिनिङ र ह्यान्डलिङमा चुनौतीहरू खडा हुन सक्छ

2. सिरेमिक

सिरेमिक सामग्रीहरू, जस्तै एल्युमिनियम अक्साइड (Al2O3), सिलिकन कार्बाइड (SiC), र सिलिकन नाइट्राइड (Si3N4), उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरू, उच्च-तापमान प्रतिरोध, र कम थर्मल विस्तार गुणांक छन्।यी गुणहरूले सिरेमिकलाई अर्धचालक उपकरणका भागहरूका लागि आदर्श बनाउँदछ जसलाई उच्च थर्मल स्थिरता र परिशुद्धता चाहिन्छ, जस्तै वेफर चरणहरू र चकहरू।

फाइदा:

- उच्च थर्मल स्थिरता र शक्ति
- कम थर्मल विस्तार गुणांक
- उच्च पहिरन प्रतिरोध र रासायनिक जडता

बेफाइदाहरू:

- भंगुर हुन सक्छ र क्र्याक हुने सम्भावना हुन्छ, विशेष गरी मेसिनिङ र ह्यान्डलिंगको समयमा
- सिरेमिकको मेसिनिङ र पालिसिङ चुनौतीपूर्ण र समय-उपभोग हुन सक्छ

3. धातुहरू

धातु-आधारित सामग्रीहरू, जस्तै स्टेनलेस स्टील र टाइटेनियम, तिनीहरूको उत्कृष्ट मेशिनिबिलिटी र उच्च शक्तिको कारण केही अर्धचालक उपकरण भागहरूको लागि प्रयोग गरिएको छ।तिनीहरू सामान्यतया एप्लिकेसनहरूमा प्रयोग गरिन्छ जहाँ उच्च थर्मल स्थिरता आवश्यक छैन, जस्तै च्याम्बर पार्ट्स, कपलिंगहरू, र फीडथ्रुहरू।

फाइदा:

- राम्रो machinability र वेल्डेबिलिटी
- उच्च शक्ति र लचीलापन
- केहि वैकल्पिक सामग्रीको तुलनामा कम लागत

बेफाइदाहरू:

- उच्च थर्मल विस्तार गुणांक
- थर्मल विस्तार समस्याहरूको कारण उच्च-तापमान अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त छैन
- जंग र प्रदूषण को लागी संवेदनशील

निष्कर्ष:

सारांशमा, जबकि ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरण पार्ट्स को लागी एक लोकप्रिय छनोट भएको छ, वैकल्पिक सामाग्री देखा परेको छ, प्रत्येक अद्वितीय फाइदा र बेफाइदा संग।गिलास-सिरेमिक सामग्रीहरू अत्यधिक सटीक र स्थिर छन् तर भंगुर हुन सक्छ।सिरेमिकहरू बलियो छन् र उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता छ तर भंगुर पनि हुन सक्छ, तिनीहरूलाई निर्माण गर्न थप चुनौतीपूर्ण बनाउँछ।धातुहरू सस्तो, मेसिन योग्य र नरम हुन्छन्, तर तिनीहरूसँग थर्मल विस्तारको उच्च गुणांक हुन्छ र क्षरण र प्रदूषणको लागि संवेदनशील हुन्छन्।सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूको लागि सामग्री चयन गर्दा, अनुप्रयोगको विशिष्ट आवश्यकताहरू विचार गर्न र लागत, प्रदर्शन, र विश्वसनीयता सन्तुलन गर्ने सामग्रीहरू चयन गर्न महत्त्वपूर्ण छ।