ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ किनभने तिनीहरूको उत्कृष्ट विशेषताहरू जस्तै उत्कृष्ट सतह फिनिश, उच्च कठोरता, र उत्कृष्ट कम्पन ड्याम्पिङ। ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू अर्धचालक निर्माण उपकरणहरूको लागि आवश्यक छन्, जसमा लिथोग्राफी मेसिनहरू, पालिसिङ मेसिनहरू, र मेट्रोलोजी प्रणालीहरू समावेश छन् किनभने तिनीहरूले उत्पादन प्रक्रियाको क्रममा सटीक स्थिति र स्थिरता प्रदान गर्छन्। ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू प्रयोग गर्ने सबै फाइदाहरूको बावजुद, तिनीहरूमा पनि दोषहरू छन्। यस लेखमा, हामी अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया उत्पादनहरूको लागि ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको दोषहरू छलफल गर्नेछौं।
पहिलो, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूमा उच्च थर्मल एक्सपेन्सन गुणांक हुन्छ। यसको अर्थ तिनीहरू थर्मल तनावमा उल्लेखनीय रूपमा विस्तार हुन्छन्, जसले उत्पादन प्रक्रियाको क्रममा समस्याहरू निम्त्याउन सक्छ। अर्धचालक निर्माण प्रक्रियालाई उच्च परिशुद्धता र आयामी शुद्धता चाहिन्छ जुन थर्मल तनावको कारणले सम्झौता गर्न सकिन्छ। उदाहरणका लागि, थर्मल विस्तारको कारणले सिलिकन वेफर विकृतिले लिथोग्राफीको समयमा पङ्क्तिबद्धता समस्याहरू निम्त्याउन सक्छ, जसले अर्धचालक उपकरणको गुणस्तरमा सम्झौता गर्न सक्छ।
दोस्रो, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूमा पोरोसिटी दोषहरू हुन्छन् जसले अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा भ्याकुम चुहावट निम्त्याउन सक्छ। प्रणालीमा हावा वा अन्य कुनै ग्यासको उपस्थितिले वेफरको सतहमा प्रदूषण निम्त्याउन सक्छ, जसले गर्दा अर्धचालक उपकरणको कार्यसम्पादनलाई असर गर्ने दोषहरू निम्त्याउन सक्छन्। आर्गन र हेलियम जस्ता निष्क्रिय ग्यासहरू छिद्रपूर्ण ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूमा छिरेर ग्यास बुलबुलेहरू सिर्जना गर्न सक्छन् जसले भ्याकुम प्रक्रियाको अखण्डतामा हस्तक्षेप गर्न सक्छ।
तेस्रो, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूमा माइक्रोफ्र्याक्चरहरू हुन्छन् जसले उत्पादन प्रक्रियाको शुद्धतामा हस्तक्षेप गर्न सक्छन्। ग्रेनाइट एक भंगुर सामग्री हो जसले समयसँगै माइक्रोफ्र्याक्चरहरू विकास गर्न सक्छ, विशेष गरी जब निरन्तर तनाव चक्रको सम्पर्कमा आउँछ। माइक्रोफ्र्याक्चरहरूको उपस्थितिले आयामी अस्थिरता निम्त्याउन सक्छ, जसले उत्पादन प्रक्रियाको क्रममा महत्त्वपूर्ण समस्याहरू निम्त्याउन सक्छ, जस्तै लिथोग्राफी पङ्क्तिबद्धता वा वेफर पालिसिङ।
चौथो, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूमा सीमित लचिलोपन हुन्छ। अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियालाई विभिन्न प्रक्रिया परिवर्तनहरू समायोजन गर्न सक्ने लचिलो उपकरणहरू चाहिन्छ। यद्यपि, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू कठोर हुन्छन् र विभिन्न प्रक्रिया परिवर्तनहरूमा अनुकूलन गर्न सक्दैनन्। त्यसकारण, निर्माण प्रक्रियामा कुनै पनि परिवर्तनले ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू हटाउन वा प्रतिस्थापन गर्न आवश्यक पर्दछ, जसले गर्दा डाउनटाइम हुन्छ र उत्पादकतामा असर पर्छ।
पाँचौं, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूलाई तिनीहरूको तौल र नाजुकताको कारणले विशेष ह्यान्डलिङ र ढुवानी आवश्यक पर्दछ। ग्रेनाइट एक बाक्लो र भारी सामग्री हो जसलाई क्रेन र लिफ्टर जस्ता विशेष ह्यान्डलिङ उपकरणहरू आवश्यक पर्दछ। थप रूपमा, ढुवानीको समयमा क्षति हुनबाट रोक्न ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूलाई सावधानीपूर्वक प्याकिङ र ढुवानी आवश्यक पर्दछ, जसले गर्दा अतिरिक्त लागत र समय लाग्छ।
निष्कर्षमा, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूमा केही कमजोरीहरू छन् जसले अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया उत्पादनहरूको गुणस्तर र उत्पादकतालाई असर गर्न सक्छ। यी कमजोरीहरूलाई ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको सावधानीपूर्वक ह्यान्डलिङ र मर्मतसम्भार मार्फत कम गर्न सकिन्छ, जसमा माइक्रोफ्र्याक्चर र पोरोसिटी दोषहरूको लागि आवधिक निरीक्षण, प्रदूषण रोक्नको लागि उचित सफाई, र यातायातको समयमा सावधानीपूर्वक ह्यान्डलिङ समावेश छ। दोषहरूको बावजुद, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू तिनीहरूको उत्कृष्ट सतह फिनिश, उच्च कठोरता, र उत्कृष्ट कम्पन ड्याम्पिङको कारण अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाको एक महत्त्वपूर्ण भाग रहन्छन्।
पोस्ट समय: डिसेम्बर-०५-२०२३