अर्धचालक निर्माण: चिप निर्माण प्रक्रियामा, फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाले सर्किट ढाँचालाई वेफरमा ठीकसँग स्थानान्तरण गर्न आवश्यक छ। एकल अक्ष एयर फ्लोटिंग अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मोड्युलको ग्रेनाइट आधारले लिथोग्राफी उपकरणमा वेफर टेबलको लागि उच्च परिशुद्धता स्थिति र स्थिर समर्थन प्रदान गर्न सक्छ। उदाहरणका लागि, ASML र अन्य अन्तर्राष्ट्रिय रूपमा प्रसिद्ध लिथोग्राफी मेसिन निर्माताहरूले आफ्नो उच्च-अन्त उपकरणहरूमा ग्रेनाइट बेस एयर फ्लोटिंग मोशन मोड्युलहरू प्रयोग गर्छन्, जसले लिथोग्राफी ढाँचाको शुद्धता सुनिश्चित गर्न न्यानोमिटर स्तरमा वेफरको स्थिति शुद्धता नियन्त्रण गर्न सक्छ, जसले गर्दा चिपको एकीकरण र कार्यसम्पादनमा सुधार हुन्छ।
परिशुद्धता मापन क्षेत्र: CMM औद्योगिक उत्पादनमा सामान्यतया प्रयोग हुने एक परिशुद्धता मापन उपकरण हो, जुन वर्कपीसको आकार, आकार र स्थिति शुद्धता मापन गर्न प्रयोग गरिन्छ। ग्रेनाइट आधारमा एकल अक्ष एयर फ्लोटको अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युल CMM को गति प्लेटफर्मको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ, जसले उच्च-परिशुद्धता रेखीय गति महसुस गर्न सक्छ र मापन प्रोबको लागि स्थिर गति प्रक्षेपण प्रदान गर्न सक्छ। उदाहरणका लागि, हेक्सागनको उच्च-अन्त CMM ले माइक्रोन स्तरसम्म मापन शुद्धताका साथ ठूला र जटिल भागहरू मापन गर्न यो संयोजन प्रयोग गर्दछ, जसले अटोमोटिभ, एयरोस्पेस र अन्य उद्योगहरूमा भागहरूको गुणस्तर नियन्त्रणको लागि बलियो ग्यारेन्टी प्रदान गर्दछ।
एयरोस्पेस क्षेत्र: एयरोस्पेस भागहरूको प्रशोधन र परीक्षणमा, उच्च परिशुद्धता आवश्यक छ। उदाहरणका लागि, विमान इन्जिन ब्लेडहरूको मेसिनिङलाई ब्लेड प्रोफाइल शुद्धता सुनिश्चित गर्न उपकरणको गति प्रक्षेपणको सटीक नियन्त्रण आवश्यक पर्दछ। एकल अक्ष एयर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युलको ग्रेनाइट आधारलाई पाँच-अक्ष मेसिनिङ केन्द्र र अन्य उपकरणहरूमा लागू गर्न सकिन्छ जसले उपकरणको लागि उच्च-परिशुद्धता गति नियन्त्रण प्रदान गर्दछ र ब्लेडको मेसिनिङ शुद्धताले डिजाइन आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ भनेर सुनिश्चित गर्दछ। एकै समयमा, एयरो इन्जिनको एसेम्बली प्रक्रियामा, भागहरूको एसेम्बली शुद्धता पत्ता लगाउन उच्च-परिशुद्धता मापन उपकरणहरू प्रयोग गर्नु पनि आवश्यक छ। ग्रेनाइट आधारको एयर फ्लोटिंग गति मोड्युलले एसेम्बली गुणस्तर सुनिश्चित गर्न मापन उपकरणहरूको लागि स्थिर समर्थन र सही आन्दोलन प्रदान गर्न सक्छ।
अप्टिकल निरीक्षण क्षेत्र: अप्टिकल कम्पोनेन्टहरूको निर्माण र परीक्षण प्रक्रियामा, अप्टिकल कम्पोनेन्टहरूको उच्च-परिशुद्धता स्थिति र मापन गर्न आवश्यक छ। उदाहरणका लागि, ऐना र लेन्स जस्ता उच्च-परिशुद्धता अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू निर्माण गर्दा, सतह आकार शुद्धता पत्ता लगाउन इन्टरफेरोमिटर र अन्य उपकरणहरू प्रयोग गर्न आवश्यक छ। एकल अक्ष एयर फ्लोटिंग अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युलको ग्रेनाइट आधार इन्टरफेरोमिटरको आन्दोलन प्लेटफर्मको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ, जसले उप-माइक्रोन स्थिति शुद्धता महसुस गर्न सक्छ र अप्टिकल कम्पोनेन्टहरूको पत्ता लगाउनको लागि सही डेटा समर्थन प्रदान गर्न सक्छ। थप रूपमा, लेजर प्रशोधन उपकरणहरूमा, लेजर बीमको स्क्यानिङ प्रक्षेपण नियन्त्रण गर्न उच्च-परिशुद्धता गति प्लेटफर्म प्रयोग गर्न पनि आवश्यक छ, हावा फ्लोटिंग गति मोड्युलको ग्रेनाइट आधारले यो आवश्यकता पूरा गर्न सक्छ, उच्च-परिशुद्धता लेजर प्रशोधन प्राप्त गर्न।
पोस्ट समय: अप्रिल-०७-२०२५