वेफर काट्ने उपकरणहरूमा कम्पन प्रतिरोध र थर्मल स्थिरताको सन्दर्भमा ग्रेनाइट आधारहरूको फाइदाहरू।

अर्धचालक उद्योग नानोस्केल उत्पादन प्रक्रियाहरू तर्फ सर्ने क्रममा, चिप निर्माणको प्रमुख कडीको रूपमा वेफर काट्ने, उपकरण स्थिरताको लागि अत्यन्तै कडा आवश्यकताहरू छन्। ग्रेनाइट आधार, यसको उत्कृष्ट कम्पन प्रतिरोध र थर्मल स्थिरताको साथ, वेफर काट्ने उपकरणको मुख्य घटक बनेको छ, जसले उच्च-परिशुद्धता र उच्च-दक्षता वेफर प्रशोधन प्राप्त गर्नको लागि भरपर्दो ग्यारेन्टी प्रदान गर्दछ।

उच्च ड्याम्पिङ र एन्टी-कम्पन विशेषताहरू: न्यानो-स्तर काट्ने शुद्धताको सुरक्षा गर्दै
वेफर काट्ने उपकरण सञ्चालनमा हुँदा, स्पिन्डलको उच्च-गतिको घुमाउरोपन, काट्ने उपकरणको उच्च-फ्रिक्वेन्सी कम्पन, र वरपरका उपकरणहरूद्वारा उत्पन्न हुने वातावरणीय कम्पनले काट्ने शुद्धतामा महत्त्वपूर्ण प्रभाव पार्नेछ। परम्परागत धातु आधारहरूको ड्याम्पिङ कार्यसम्पादन सीमित छ, जसले गर्दा कम्पनहरू द्रुत रूपमा कम गर्न गाह्रो हुन्छ, जसले काट्ने उपकरणहरूको माइक्रोन-स्तरको झट्का निम्त्याउँछ र वेफरहरूमा चिप गरिएका किनारहरू र दरारहरू जस्ता दोषहरू प्रत्यक्ष रूपमा निम्त्याउँछ। ग्रेनाइट आधारको उच्च ड्याम्पिङ विशेषताहरूले मौलिक रूपमा यो समस्या समाधान गरेको छ।
ग्रेनाइटको आन्तरिक खनिज क्रिस्टलहरू नजिकबाट अन्तर्निहित हुन्छन्, जसले प्राकृतिक ऊर्जा अपव्यय संरचना बनाउँछ। जब कम्पन आधारमा प्रसारित हुन्छ, यसको आन्तरिक सूक्ष्म संरचनाले कम्पन ऊर्जालाई द्रुत रूपमा थर्मल ऊर्जामा रूपान्तरण गर्न सक्छ, कुशल कम्पन क्षीणन प्राप्त गर्दछ। प्रयोगात्मक तथ्याङ्कले देखाउँछ कि एउटै कम्पन वातावरण अन्तर्गत, ग्रेनाइट आधारले ०.५ सेकेन्ड भित्र कम्पन आयामलाई ९०% भन्दा बढीले कम गर्न सक्छ, जबकि धातु आधारलाई ३ देखि ५ सेकेन्ड चाहिन्छ। यो उत्कृष्ट ड्याम्पिङ प्रदर्शनले नानोस्केल काट्ने प्रक्रियाको क्रममा काट्ने उपकरण स्थिर रहन्छ भन्ने कुरा सुनिश्चित गर्दछ, वेफर काट्नेको चिल्लो किनाराको ग्यारेन्टी गर्दछ र प्रभावकारी रूपमा चिपिङ दर घटाउँछ। उदाहरणका लागि, ५nm वेफर काट्ने प्रक्रियामा, ग्रेनाइट आधार भएका उपकरणहरूले १०μm भित्र चिपिङ आकार नियन्त्रण गर्न सक्छन्, जुन धातु आधार भएका उपकरणहरू भन्दा ४०% बढी हो।
थर्मल विस्तारको अति-कम गुणांक: तापक्रम उतारचढावको प्रभाव प्रतिरोधी
वेफर काट्ने प्रक्रियाको क्रममा, काट्ने उपकरणहरूको घर्षणबाट उत्पन्न हुने ताप, उपकरणको दीर्घकालीन सञ्चालनबाट ताप अपव्यय, र कार्यशाला वातावरणको तापक्रममा परिवर्तनले उपकरणका घटकहरूको थर्मल विकृति निम्त्याउन सक्छ। धातु सामग्रीहरूको थर्मल विस्तारको गुणांक तुलनात्मक रूपमा उच्च हुन्छ (लगभग १२×१०⁻⁶/℃)। जब तापक्रम ५℃ ले उतारचढाव हुन्छ, १-मिटर लामो धातुको आधार ६०μm को विकृतिबाट गुज्रन सक्छ, जसले गर्दा काट्ने स्थिति परिवर्तन हुन्छ र काट्ने शुद्धतामा गम्भीर असर पर्छ।
ग्रेनाइट आधारको थर्मल विस्तारको गुणांक केवल (४-८) ×१०⁻⁶/℃ हो, जुन धातु सामग्रीहरूको एक तिहाइ भन्दा कम हो। एउटै तापक्रम परिवर्तन अन्तर्गत, यसको आयामी परिवर्तनलाई लगभग बेवास्ता गर्न सकिन्छ। एक निश्चित अर्धचालक उत्पादन उद्यमको मापन गरिएको तथ्याङ्कले देखाउँछ कि ८-घण्टा निरन्तर उच्च-तीव्रता वेफर काट्ने कार्यको क्रममा, जब परिवेशको तापक्रम १०℃ ले उतारचढाव हुन्छ, ग्रेनाइट आधार भएको उपकरणको काट्ने स्थिति अफसेट २०μm भन्दा कम हुन्छ, जबकि धातु आधार भएको उपकरणको ६०μm भन्दा बढी हुन्छ। यो स्थिर थर्मल प्रदर्शनले काट्ने उपकरण र वेफर बीचको सापेक्षिक स्थिति सधैं सटीक रहन्छ भन्ने कुरा सुनिश्चित गर्दछ। दीर्घकालीन निरन्तर सञ्चालन वा वातावरणीय तापक्रममा ठूलो परिवर्तनहरू अन्तर्गत पनि, काट्ने शुद्धताको स्थिरता कायम राख्न सकिन्छ।
कठोरता र पहिरन प्रतिरोध: उपकरणको दीर्घकालीन स्थिर सञ्चालन सुनिश्चित गर्नुहोस्
कम्पन प्रतिरोध र थर्मल स्थिरताका फाइदाहरूका अतिरिक्त, ग्रेनाइट आधारको उच्च कठोरता र पहिरन प्रतिरोधले वेफर काट्ने उपकरणको विश्वसनीयतालाई अझ बढाउँछ। ग्रेनाइटमा मोह्स स्केलमा ६ देखि ७ को कठोरता र १२०MPa भन्दा बढीको कम्प्रेसिभ बल हुन्छ। यसले काट्ने प्रक्रियाको क्रममा अत्यधिक दबाब र प्रभाव बलको सामना गर्न सक्छ र विकृतिको जोखिममा पर्दैन। यसैबीच, यसको बाक्लो संरचनाले यसलाई उत्कृष्ट पहिरन प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। बारम्बार काट्ने कार्यहरूको समयमा पनि, आधारको सतह पहिरनको जोखिममा हुँदैन, जसले गर्दा उपकरणले लामो समयसम्म उच्च-परिशुद्धता सञ्चालन कायम राख्छ।
व्यावहारिक अनुप्रयोगहरूमा, धेरै वेफर उत्पादन उद्यमहरूले ग्रेनाइट आधारहरू भएका काट्ने उपकरणहरू अपनाएर उत्पादन उपज र उत्पादन दक्षतामा उल्लेखनीय सुधार गरेका छन्। विश्वव्यापी रूपमा अग्रणी फाउन्ड्रीको तथ्याङ्कले देखाउँछ कि ग्रेनाइट आधार उपकरणहरू परिचय गरेपछि, वेफर काट्ने उत्पादन ८८% बाट ९५% भन्दा बढी भएको छ, उपकरण मर्मत चक्र तीन गुणा बढाइएको छ, प्रभावकारी रूपमा उत्पादन लागत घटाउने र बजार प्रतिस्पर्धात्मकता बढाउने।
निष्कर्षमा, ग्रेनाइट आधार, यसको उत्कृष्ट कम्पन प्रतिरोध, थर्मल स्थिरता, उच्च कठोरता र पहिरन प्रतिरोधको साथ, वेफर काट्ने उपकरणहरूको लागि व्यापक प्रदर्शन ग्यारेन्टी प्रदान गर्दछ। अर्धचालक प्रविधि उच्च परिशुद्धता तर्फ अगाडि बढ्दै जाँदा, ग्रेनाइट आधारहरूले वेफर निर्माणको क्षेत्रमा अझ महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्नेछ, जसले अर्धचालक उद्योगको निरन्तर नवीन विकासलाई प्रवर्द्धन गर्नेछ।