परिशुद्धता मापनको क्षेत्रमा, उत्कृष्ट स्थिरता, उच्च कठोरता र राम्रो पहिरन प्रतिरोधको साथ ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफर्म धेरै उच्च-परिशुद्धता मापन कार्यको लागि आदर्श आधार समर्थन बनेको छ। यद्यपि, अँध्यारोमा लुकेको "परिशुद्धता हत्यारा" जस्तै वातावरणीय कारकहरूमा तापक्रम उतार-चढ़ावले ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफर्मको मापन शुद्धतामा नगण्य प्रभाव पार्छ। मापन कार्यको शुद्धता र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्न प्रभाव थ्रेसहोल्डको गहिरो अनुसन्धान गर्नु धेरै महत्त्वपूर्ण छ।
ग्रेनाइट यसको स्थिरताको लागि परिचित भएतापनि, यो तापक्रम परिवर्तनबाट मुक्त छैन। यसका मुख्य घटकहरू क्वार्ट्ज, फेल्डस्पार र अन्य खनिजहरू हुन्, जसले विभिन्न तापक्रममा थर्मल विस्तार र संकुचन घटना उत्पादन गर्नेछ। जब परिवेशको तापक्रम बढ्छ, ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफर्म तताइन्छ र विस्तार गरिन्छ, र प्लेटफर्मको आकार थोरै परिवर्तन हुनेछ। जब तापक्रम घट्छ, यो आफ्नो मूल अवस्थामा फर्किनेछ। देखिने सानो आकारका परिवर्तनहरूलाई परिशुद्धता मापन परिदृश्यहरूमा मापन परिणामहरूलाई असर गर्ने प्रमुख कारकहरूमा बढाएर हेर्न सकिन्छ।
ग्रेनाइट प्लेटफर्मसँग मिल्ने सामान्य निर्देशांक मापन उपकरणलाई उदाहरणको रूपमा लिँदा, उच्च-परिशुद्धता मापन कार्यमा, मापन शुद्धता आवश्यकताहरू प्रायः माइक्रोन स्तर वा अझ माथि पुग्छन्। यो मानिन्छ कि २० ℃ को मानक तापक्रममा, प्लेटफर्मका विभिन्न आयामी प्यारामिटरहरू आदर्श अवस्थामा हुन्छन्, र वर्कपीस मापन गरेर सही डेटा प्राप्त गर्न सकिन्छ। जब परिवेशको तापक्रममा उतारचढाव हुन्छ, स्थिति धेरै फरक हुन्छ। ठूलो संख्यामा प्रयोगात्मक डेटा तथ्याङ्क र सैद्धान्तिक विश्लेषण पछि, सामान्य परिस्थितिमा, १ ℃ को वातावरणीय तापमान उतारचढाव, ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफर्मको रेखीय विस्तार वा संकुचन लगभग ५-७ ×१०⁻⁶/℃ हुन्छ। यसको मतलब १ मिटरको साइड लम्बाइ भएको ग्रेनाइट प्लेटफर्मको लागि, यदि तापमान १ ° सेल्सियसले परिवर्तन हुन्छ भने साइड लम्बाइ ५-७ माइक्रोनले परिवर्तन हुन सक्छ। सटीक मापनमा, आकारमा यस्तो परिवर्तन स्वीकार्य दायराभन्दा बाहिर मापन त्रुटिहरू निम्त्याउन पर्याप्त छ।
विभिन्न शुद्धता स्तरहरू द्वारा आवश्यक मापन कार्यको लागि, तापमान उतार-चढावको प्रभाव थ्रेसहोल्ड पनि फरक हुन्छ। सामान्य परिशुद्धता मापनमा, जस्तै मेकानिकल भागहरूको आकार मापनमा, यदि स्वीकार्य मापन त्रुटि ±20 माइक्रोन भित्र छ भने, माथिको विस्तार गुणांक गणना अनुसार, स्वीकार्य स्तरमा प्लेटफर्म आकार परिवर्तनको कारणले हुने मापन त्रुटि नियन्त्रण गर्न तापमान उतार-चढाव ± 3-4 ℃ को दायरा भित्र नियन्त्रण गर्न आवश्यक छ। अर्धचालक चिप निर्माणमा लिथोग्राफी प्रक्रिया मापन जस्ता उच्च परिशुद्धता आवश्यकताहरू भएका क्षेत्रहरूमा, ±1 माइक्रोन भित्र त्रुटिलाई अनुमति दिइन्छ, र तापमान उतार-चढावलाई ± 0.1-0.2 ° C भित्र कडाइका साथ नियन्त्रण गर्न आवश्यक छ। एक पटक तापक्रम उतार-चढाव यो थ्रेसहोल्ड नाघेपछि, ग्रेनाइट प्लेटफर्मको थर्मल विस्तार र संकुचनले मापन परिणामहरूमा विचलन निम्त्याउन सक्छ, जसले चिप निर्माणको उत्पादनलाई असर गर्नेछ।
ग्रेनाइट प्रेसिजन प्लेटफर्मको मापन शुद्धतामा परिवेशको तापक्रम उतारचढावको प्रभावलाई सम्बोधन गर्न, व्यावहारिक कार्यमा धेरै उपायहरू अपनाइन्छ। उदाहरणका लागि, धेरै सानो दायरामा तापक्रम उतारचढाव नियन्त्रण गर्न मापन वातावरणमा उच्च परिशुद्धता स्थिर तापक्रम उपकरणहरू स्थापना गरिन्छ; मापन डेटामा तापक्रम क्षतिपूर्ति गरिन्छ, र प्लेटफर्मको थर्मल विस्तार गुणांक र वास्तविक-समय तापक्रम परिवर्तनहरू अनुसार सफ्टवेयर एल्गोरिथ्मद्वारा मापन परिणामहरू सच्याइन्छ। यद्यपि, जुनसुकै उपायहरू अपनाइए पनि, ग्रेनाइट प्रेसिजन प्लेटफर्मको मापन शुद्धतामा परिवेशको तापक्रम उतारचढावको प्रभावको सही बुझाइ सही र भरपर्दो मापन कार्य सुनिश्चित गर्ने आधार हो।
पोस्ट समय: अप्रिल-०३-२०२५