अर्धचालक निर्माणको सटीक श्रृंखलामा, वेफर स्थानान्तरण प्रणाली "चिप उत्पादन लाइनको जीवनरेखा" जस्तै हो, र यसको स्थिरता र शुद्धताले चिप्सको उपज दरलाई प्रत्यक्ष रूपमा निर्धारण गर्दछ। वेफर स्थानान्तरण प्रणालीहरूको नयाँ पुस्ताले क्रान्तिकारी रूपमा ग्रेनाइट आधारहरूसँग रेखीय मोटरहरूलाई संयोजन गर्दछ, र ग्रेनाइट सामग्रीहरूको अद्वितीय फाइदाहरू उच्च-प्रदर्शन प्रसारण अनलक गर्नको लागि मुख्य कोड हुन्।
ग्रेनाइट आधार: स्थिर प्रसारणको लागि "चट्टान-ठोस जग" निर्माण गर्दै
ग्रेनाइट, लाखौं वर्षको भूगर्भीय परिष्करणबाट गुज्रिएको, घना र एकरूप आन्तरिक खनिज क्रिस्टलाइजेसनको विशेषता हो। यो प्राकृतिक विशेषताले यसलाई वेफर ट्रान्सफर प्रणालीहरूको लागि एक आदर्श आधार सामग्री बनाउँछ। अर्धचालक क्लिनरूमहरूको जटिल वातावरणमा, ग्रेनाइट, यसको अति-कम थर्मल विस्तार गुणांक (केवल 5-7 ×10⁻⁶/℃) को साथ, उपकरण सञ्चालनको क्रममा उत्पन्न हुने ताप र वातावरणीय तापमान परिवर्तनहरूको प्रभावलाई प्रतिरोध गर्न सक्छ, आधार आकारको स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ र थर्मल विकृतिको कारणले प्रसारण मार्ग विचलनबाट बच्न सक्छ। यसको उत्कृष्ट कम्पन ड्याम्पिंग प्रदर्शनले रैखिक मोटरहरूको स्टार्ट-अप, बन्द र प्रवेगको समयमा उत्पन्न हुने मेकानिकल कम्पनहरू, साथै कार्यशालामा अन्य उपकरणहरूको सञ्चालनद्वारा ल्याइएको बाह्य हस्तक्षेपहरूलाई द्रुत रूपमा अवशोषित गर्न सक्छ, वेफर प्रसारणको लागि "शून्य हल्ला" भएको स्थिर प्लेटफर्म प्रदान गर्दछ।
यसैबीच, ग्रेनाइटको रासायनिक स्थिरताले यो सुनिश्चित गर्दछ कि यो अर्धचालक कार्यशालाहरूमा खिया लाग्दैन वा खिया लाग्दैन जहाँ एसिड र क्षार अभिकर्मकहरू अस्थिर हुन्छन् र उच्च सफाई आवश्यक हुन्छ, जसले गर्दा सामग्रीको उमेर बढ्ने वा प्रदूषक सोखनको कारणले प्रसारण शुद्धतामा पर्ने प्रभावबाट बच्न सकिन्छ। चिल्लो र बाक्लो सतह विशेषताहरूले धुलो आसंजनलाई अझ प्रभावकारी रूपमा कम गर्न सक्छ, सफा कोठाहरूको कडा धुलो-मुक्त मापदण्डहरू पूरा गर्दछ र जराबाट वेफर प्रदूषणको जोखिमलाई हटाउँछ।
रेखीय मोटर्स र ग्रेनाइटको "सुनौलो साझेदारी" प्रभाव
रेखीय मोटरहरू, जसमा मेकानिकल ट्रान्समिसन क्लियरेन्स, उच्च एक्सेलेरेशन र उच्च प्रतिक्रिया गति जस्ता विशेषताहरू छन्, ले वेफर ट्रान्समिसनलाई "छिटो, सटीक र स्थिर" को फाइदाहरू प्रदान गर्दछ। ग्रेनाइट आधारले यसको लागि ठोस र भरपर्दो समर्थन प्लेटफर्म प्रदान गर्दछ। प्रदर्शनमा छलांग हासिल गर्न दुईले सँगै काम गर्छन्। जब रेखीय मोटरले वेफर क्यारियरलाई ग्रेनाइट आधार ट्र्याकमा चलाउन चलाउँछ, आधारको बलियो कठोरता र स्थिरताले मोटर ड्राइभिङ फोर्सको कुशल प्रसारण सुनिश्चित गर्दछ, आधार विकृतिको कारणले हुने बल हानि वा प्रसारण ढिलाइबाट बच्न।
नानोस्केल प्रेसिजनको मागबाट प्रेरित, रेखीय मोटरहरूले उप-माइक्रोन-स्तर विस्थापन नियन्त्रण प्राप्त गर्न सक्छन्। ग्रेनाइट आधारहरूको उच्च-परिशुद्धता प्रशोधन विशेषताहरू (±1μm भित्र नियन्त्रण गरिएको समतलता त्रुटिहरू सहित) रेखीय मोटरहरूको सटीक नियन्त्रणसँग पूर्ण रूपमा मेल खान्छ, संयुक्त रूपमा वेफर प्रसारणको समयमा स्थिति त्रुटि ±5μm भन्दा कम छ भनी सुनिश्चित गर्दछ। चाहे यो विभिन्न प्रक्रिया उपकरणहरू बीच उच्च-गति शटलिङ होस् वा वेफर हस्तान्तरणको लागि सटीक पार्किङ होस्, रेखीय मोटरहरू र ग्रेनाइट आधारहरूको संयोजनले वेफर प्रसारणमा "शून्य विचलन र शून्य जिटर" सुनिश्चित गर्न सक्छ।
उद्योग अभ्यास प्रमाणीकरण: दक्षता र उपज दरमा दोहोरो सुधार
आफ्नो वेफर ट्रान्सफर प्रणालीको स्तरोन्नति गरेपछि, एक अग्रणी विश्वव्यापी अर्धचालक उद्यमले रेखीय मोटर + ग्रेनाइट आधार समाधान अपनायो, जसले वेफर स्थानान्तरण दक्षता ४०% ले बढायो, स्थानान्तरण प्रक्रियाको क्रममा टक्कर र अफसेट जस्ता गल्तीहरूको घटना दर ८५% ले घटायो, र चिप्सको समग्र उपज दर ६% ले सुधार गर्यो। डेटा पछाडि ग्रेनाइट आधार द्वारा प्रदान गरिएको प्रसारण स्थिरताको ग्यारेन्टी र रेखीय मोटरको उच्च-गति र सटीक तालमेल प्रभाव निहित छ, जसले वेफर प्रसारण प्रक्रियामा हानि र त्रुटिलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्छ।
भौतिक गुणहरूदेखि सटीक निर्माणसम्म, कार्यसम्पादन फाइदाहरूदेखि व्यावहारिक प्रमाणीकरणसम्म, रेखीय मोटरहरू र ग्रेनाइट आधारहरूको संयोजनले वेफर ट्रान्सफर प्रणालीहरूको मापदण्डहरूलाई पुन: परिभाषित गरेको छ। भविष्यमा जब अर्धचालक प्रविधि ३nm र २nm प्रक्रियाहरू तर्फ अगाडि बढ्छ, ग्रेनाइट सामग्रीहरूले निश्चित रूपमा तिनीहरूको अपूरणीय फाइदाहरूका साथ उद्योगको विकासमा बलियो प्रेरणा प्रदान गर्न जारी राख्नेछन्।
पोस्ट समय: मे-१४-२०२५