वेफर स्थानान्तरण प्रणालीको कुन भागहरूमा ग्रेनाइट सामग्रीहरू प्रयोग गरिन्छ?

उच्च स्थिरता, कम थर्मल विस्तार, र जंग को उच्च प्रतिरोध जस्ता उत्कृष्ट विशेषताहरु को कारण ग्रेनाइट सामाग्री व्यापक रूपमा अर्धचालक उद्योग मा प्रयोग गरिन्छ।यी गुणहरूले ग्रेनाइटलाई वेफर ट्रान्सफर प्रणालीमा उच्च परिशुद्धता कम्पोनेन्टहरू निर्माण गर्नको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँदछ।

अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा, वेफर स्थानान्तरण प्रणालीले निर्माण प्रक्रियाको विभिन्न चरणहरूमा वेफरहरू ढुवानी गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।सटीक र शुद्धता यी प्रणालीहरूको लागि आवश्यक आवश्यकताहरू हुन् किनकि थोरै विचलनले पनि सम्पूर्ण प्रक्रियालाई जोखिममा पार्न सक्छ।त्यसकारण, वेफर स्थानान्तरण प्रणालीमा कम्पोनेन्टहरू उच्च-गुणस्तरको सामग्रीबाट बनाइनुपर्छ, र ग्रेनाइटले ती मापदण्डहरू पूरा गर्दछ।

वेफर स्थानान्तरण प्रणालीका केही भागहरू जुन ग्रेनाइट सामग्रीबाट बनेका छन्:

1. भ्याकुम चक तालिका

भ्याकुम चक टेबल प्रक्रियाको क्रममा वेफर समात्न प्रयोग गरिन्छ, र यो वेफर क्षतिग्रस्त छैन भनेर सुनिश्चित गर्न एक स्थिर सतह हुनुपर्छ।ग्रेनाइट यो टेबल बनाउनको लागि एक आदर्श सामग्री हो किनभने यसमा एक समतल, गैर-छिद्र सतह छ जसले उच्च स्थिरता र परिशुद्धता प्रदान गर्दछ।थप रूपमा, ग्रेनाइटमा थर्मल विस्तारको कम गुणांक छ, यसले तापमान परिवर्तनहरूलाई प्रतिरोधी बनाउँछ जसले वेफरमा आयामी परिवर्तनहरू निम्त्याउन सक्छ।

2. एयर-बेयरिङ स्टेज

उत्पादन प्रक्रियाको विभिन्न चरणहरूमा वेफर ढुवानी गर्न एयर-बेयरिङ स्टेज प्रयोग गरिन्छ।स्टेजलाई घर्षणरहित आन्दोलन प्रदान गर्न इन्जिनियर गरिएको छ, जसलाई उच्च परिशुद्धता र स्थिरता चाहिन्छ।ग्रेनाइट यस अनुप्रयोगमा प्रयोग गरिन्छ किनभने यो एक कठोर र कडा ढुङ्गा हो, र यसले विरूपण प्रतिरोध गर्दछ र समयको साथमा लगाउन सक्छ।

3. रैखिक गति गाइडहरू

रैखिक गति गाइडहरू एयर-बेयरिङ स्टेजलाई मार्गदर्शन गर्न प्रयोग गरिन्छ, र तिनीहरू त्रुटिहरू कम गर्नको लागि सही स्थानमा हुनुपर्छ।यो गाइड निर्माण गर्न ग्रेनाइट प्रयोग गरिन्छ किनभने यसमा उत्कृष्ट मेकानिकल स्थिरता र बल छ।सामग्री पनि जंग-प्रतिरोधी छ, जसले गाइड प्रणालीको दीर्घायु सुनिश्चित गर्दछ।

4. मेट्रोलोजी उपकरण

मेट्रोलोजी उपकरणहरू उत्पादन प्रक्रियाको क्रममा वेफरको आयाम र गुणहरू मापन गर्न प्रयोग गरिन्छ।ग्रेनाइट यो उपकरण निर्माणको लागि एक आदर्श सामग्री हो किनभने यसमा उच्च कठोरता, कम विस्तार, र लोड अन्तर्गत न्यूनतम विरूपण छ।यसबाहेक, ग्रेनाइटको थर्मल स्थिरताले मेट्रोलोजी उपकरण समयसँगै स्थिर र सही रहने सुनिश्चित गर्दछ।

अन्तमा, अर्धचालक उद्योग परिशुद्धता र शुद्धता मा निर्भर गर्दछ, र ग्रेनाइट सामग्री उत्पादन प्रक्रिया मा अत्यधिक भरपर्दो र स्थिर साबित भएको छ।उच्च स्थिरता, परिशुद्धता र कम थर्मल विस्तार आवश्यक वेफर स्थानान्तरण प्रणालीमा धेरै महत्वपूर्ण कम्पोनेन्टहरूसँग, इन्जिनियरहरूले यी महत्वपूर्ण आवश्यकताहरू पूरा गर्न ग्रेनाइट सामग्रीहरूमा फर्केका छन्।