उच्च स्थिरता, कम थर्मल विस्तार, र क्षरणको उच्च प्रतिरोध जस्ता उत्कृष्ट विशेषताहरूका कारण अर्धचालक उद्योगमा ग्रेनाइट सामग्रीहरू व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यी गुणहरूले ग्रेनाइटलाई वेफर स्थानान्तरण प्रणालीमा उच्च-परिशुद्धता घटकहरू निर्माण गर्नको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ।
अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा, वेफर स्थानान्तरण प्रणालीले उत्पादन प्रक्रियाको विभिन्न चरणहरूमा वेफरहरू ढुवानी गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। यी प्रणालीहरूको लागि परिशुद्धता र शुद्धता आवश्यक आवश्यकताहरू हुन् किनकि थोरै विचलनले पनि सम्पूर्ण प्रक्रियालाई जोखिममा पार्न सक्छ। त्यसकारण, वेफर स्थानान्तरण प्रणालीमा कम्पोनेन्टहरू उच्च-गुणस्तरको सामग्रीबाट बनाइनुपर्छ, र ग्रेनाइटले ती मापदण्डहरू पूरा गर्दछ।
ग्रेनाइट सामग्रीबाट बनेका वेफर ट्रान्सफर प्रणालीका केही भागहरू समावेश छन्:
१. भ्याकुम चक टेबल
प्रक्रियाको क्रममा वेफरलाई समात्न भ्याकुम चक टेबल प्रयोग गरिन्छ, र वेफर क्षतिग्रस्त नभएको सुनिश्चित गर्न यसको स्थिर सतह हुनुपर्छ। ग्रेनाइट यो टेबल बनाउनको लागि एक आदर्श सामग्री हो किनभने यसमा समतल, गैर-छिद्रयुक्त सतह छ जसले उच्च स्थिरता र परिशुद्धता प्रदान गर्दछ। थप रूपमा, ग्रेनाइटमा थर्मल विस्तारको कम गुणांक हुन्छ, जसले यसलाई वेफरमा आयामी परिवर्तनहरू निम्त्याउन सक्ने तापमान परिवर्तनहरूको प्रतिरोधी बनाउँछ।
२. एयर-बेयरिङ स्टेज
निर्माण प्रक्रियाको विभिन्न चरणहरूमा वेफर ढुवानी गर्न एयर-बेयरिङ स्टेज प्रयोग गरिन्छ। स्टेज घर्षणरहित आन्दोलन प्रदान गर्न ईन्जिनियर गरिएको छ, जसको लागि उच्च परिशुद्धता र स्थिरता आवश्यक पर्दछ। यस अनुप्रयोगमा ग्रेनाइट प्रयोग गरिन्छ किनभने यो एक कठोर र कडा ढुङ्गा हो, र यसले समयसँगै विकृति र झर्ने प्रतिरोध गर्दछ।
३. रेखीय गति गाइडहरू
रेखीय गति गाइडहरू हावा-वाहक चरणलाई मार्गदर्शन गर्न प्रयोग गरिन्छ, र त्रुटिहरू कम गर्न तिनीहरूलाई सही रूपमा राखिएको हुनुपर्छ। यो गाइड निर्माण गर्न ग्रेनाइट प्रयोग गरिन्छ किनभने यसमा उत्कृष्ट मेकानिकल स्थिरता र बल छ। सामग्री पनि जंग प्रतिरोधी छ, जसले गाइड प्रणालीको दीर्घायु सुनिश्चित गर्दछ।
४. मापन उपकरण
उत्पादन प्रक्रियाको क्रममा वेफरको आयाम र गुणहरू मापन गर्न मेट्रोलोजी उपकरण प्रयोग गरिन्छ। ग्रेनाइट यो उपकरण निर्माणको लागि एक आदर्श सामग्री हो किनभने यसमा उच्च कठोरता, कम विस्तार, र भार अन्तर्गत न्यूनतम विकृति छ। यसबाहेक, ग्रेनाइटको थर्मल स्थिरताले मेट्रोलोजी उपकरण समयसँगै स्थिर र सटीक रहन्छ भन्ने कुरा सुनिश्चित गर्दछ।
निष्कर्षमा, अर्धचालक उद्योग परिशुद्धता र शुद्धतामा निर्भर गर्दछ, र ग्रेनाइट सामग्रीहरू उत्पादन प्रक्रियामा अत्यधिक भरपर्दो र स्थिर साबित भएका छन्। वेफर स्थानान्तरण प्रणालीमा धेरै महत्वपूर्ण घटकहरू भएकाले उच्च स्थिरता, परिशुद्धता र कम थर्मल विस्तार आवश्यक पर्दछ, इन्जिनियरहरूले यी महत्वपूर्ण आवश्यकताहरू पूरा गर्न ग्रेनाइट सामग्रीहरूतर्फ फर्केका छन्।
पोस्ट समय: मार्च-१९-२०२४