अर्धचालक निर्माण र परिशुद्धता मापन उपकरणहरू जस्ता क्षेत्रहरूमा, ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफर्महरूको शुद्धताले उपकरणको सञ्चालन गुणस्तर प्रत्यक्ष रूपमा निर्धारण गर्दछ। प्लेटफर्मको शुद्धता मापदण्डहरू पूरा गर्दछ भनेर सुनिश्चित गर्न, दुई पक्षहरूबाट प्रयास गर्नुपर्छ: प्रमुख सूचकहरूको पहिचान र मानक मापदण्डहरूको अनुपालन।
कोर सूचक पत्ता लगाउने: शुद्धताको बहु-आयामी नियन्त्रण
समतलता पत्ता लगाउने: सन्दर्भ समतलको "समतलता" निर्धारण गर्ने
समतलता ग्रेनाइट परिशुद्धता प्लेटफर्महरूको मुख्य सूचक हो, र यो सामान्यतया लेजर इन्टरफेरोमिटर वा इलेक्ट्रोनिक स्तरहरू द्वारा मापन गरिन्छ। लेजर इन्टरफेरोमिटरले लेजर बीम उत्सर्जन गरेर र प्रकाश हस्तक्षेपको सिद्धान्त प्रयोग गरेर प्लेटफर्मको सतहमा भएका सूक्ष्म अण्डुलेशनहरूलाई सटीक रूपमा मापन गर्न सक्छ, जसको शुद्धता उप-माइक्रोन स्तरमा पुग्छ। इलेक्ट्रोनिक स्तरले धेरै पटक सारेर मापन गर्छ र कुनै स्थानीय प्रोट्रुसन वा डिप्रेसनहरू छन् कि छैनन् भनेर पत्ता लगाउन प्लेटफर्म सतहको त्रि-आयामी समोच्च नक्सा कोर्छ। उदाहरणका लागि, अर्धचालक फोटोलिथोग्राफी मेसिनहरूमा प्रयोग हुने ग्रेनाइट प्लेटफर्महरूमा ±0.5μm/m को समतलता हुनु आवश्यक छ, जसको अर्थ १-मिटर लम्बाइ भित्रको उचाइ भिन्नता आधा माइक्रोमिटर भन्दा बढी हुनु हुँदैन। उच्च-परिशुद्धता पत्ता लगाउने उपकरणहरू मार्फत मात्र यो कडा मानक सुनिश्चित गर्न सकिन्छ।
२. सीधापन पत्ता लगाउने: रेखीय गतिको "सीधापन" सुनिश्चित गर्नुहोस्
सटीक गतिशील भागहरू बोक्ने प्लेटफर्महरूको लागि, सीधापन महत्त्वपूर्ण छ। पत्ता लगाउने सामान्य विधिहरू तार विधि वा लेजर कोलिमेटर हुन्। तार विधिमा उच्च-परिशुद्धता स्टील तारहरू निलम्बन गर्ने र प्लेटफर्म सतह र स्टील तारहरू बीचको खाडल तुलना गरेर सीधापन निर्धारण गर्ने समावेश छ। लेजर कोलिमेटरले प्लेटफर्म गाइड रेलको स्थापना सतहको रेखीय त्रुटि पत्ता लगाउन लेजरको रेखीय प्रसार विशेषताहरू प्रयोग गर्दछ। यदि सीधापनले मानक पूरा गर्दैन भने, यसले आन्दोलनको समयमा उपकरणहरू परिवर्तन गर्नेछ, प्रशोधन वा मापन शुद्धतालाई असर गर्नेछ।
३. सतहको खस्रोपन पत्ता लगाउने: सम्पर्कको "सुक्ष्मता" सुनिश्चित गर्नुहोस्
प्लेटफर्मको सतहको खस्रोपनले कम्पोनेन्ट स्थापनाको फिटलाई असर गर्छ। सामान्यतया, पत्ता लगाउनको लागि स्टाइलस खस्रोपन मिटर वा अप्टिकल माइक्रोस्कोप प्रयोग गरिन्छ। स्टाइलस प्रकारको उपकरणले प्लेटफर्मको सतहलाई राम्रो प्रोबले सम्पर्क गरेर माइक्रोस्कोपिक प्रोफाइलको उचाइ परिवर्तनहरू रेकर्ड गर्दछ। अप्टिकल माइक्रोस्कोपले सतहको बनावटलाई प्रत्यक्ष रूपमा अवलोकन गर्न सक्छ। उच्च-परिशुद्धता अनुप्रयोगहरूमा, ग्रेनाइट प्लेटफर्महरूको सतह खस्रोपनलाई Ra≤0.05μm मा नियन्त्रण गर्न आवश्यक छ, जुन ऐना जस्तो प्रभावको बराबर हो, जसले स्थापनाको समयमा सटीक कम्पोनेन्टहरू कडा रूपमा फिट हुन्छन् र खाली ठाउँहरूको कारणले हुने कम्पन वा विस्थापनबाट बच्न सुनिश्चित गर्दछ।
परिशुद्धता मापदण्डहरू निम्नानुसार छन्: अन्तर्राष्ट्रिय मापदण्डहरू र उद्यमको आन्तरिक नियन्त्रण
हाल, अन्तर्राष्ट्रिय स्तरमा, ISO 25178 र GB/T 24632 मापदण्डहरू सामान्यतया ग्रेनाइट प्लेटफर्महरूको शुद्धता निर्धारण गर्ने आधारको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र समतलता र सीधापन जस्ता सूचकहरूको लागि स्पष्ट वर्गीकरणहरू छन्। यसको अतिरिक्त, उच्च-अन्त उत्पादन उद्यमहरूले प्रायः कडा आन्तरिक नियन्त्रण मापदण्डहरू सेट गर्छन्। उदाहरणका लागि, फोटोलिथोग्राफी मेसिनको ग्रेनाइट प्लेटफर्मको समतलता आवश्यकता अन्तर्राष्ट्रिय मापदण्ड भन्दा 30% बढी छ। परीक्षणहरू सञ्चालन गर्दा, मापन गरिएको डेटालाई सम्बन्धित मापदण्डहरूसँग तुलना गर्नुपर्छ। मापदण्डहरूको पूर्ण पालना गर्ने प्लेटफर्महरूले मात्र सटीक उपकरणहरूमा स्थिर प्रदर्शन सुनिश्चित गर्न सक्छन्।
ग्रेनाइट प्रेसिजन प्लेटफर्महरूको शुद्धता निरीक्षण गर्नु एक व्यवस्थित परियोजना हो। समतलता, सीधापन, र सतहको खस्रोपन जस्ता मुख्य सूचकहरूको कडाईका साथ परीक्षण गरेर र अन्तर्राष्ट्रिय र उद्यम मापदण्डहरूको पालना गरेर मात्र, प्लेटफर्मको उच्च परिशुद्धता र विश्वसनीयताको ग्यारेन्टी गर्न सकिन्छ, जसले अर्धचालक र परिशुद्धता उपकरणहरू जस्ता उच्च-अन्त उत्पादन क्षेत्रहरूको लागि बलियो जग बसाल्छ।
पोस्ट समय: मे-२१-२०२५