अर्धचालक उत्पादन कार्यशालामा, वातावरणीय अवस्था र उपकरण शुद्धताको लागि चिप उत्पादन प्रक्रियाको आवश्यकताहरू चरम हुन्छन्, र कुनै पनि थोरै विचलनले चिप उपजमा उल्लेखनीय गिरावट ल्याउन सक्छ। XYZT प्रेसिजन ग्यान्ट्री मुभमेन्ट प्लेटफर्मले न्यानोस्केल शुद्धता प्राप्त गर्नको लागि बलियो आधार निर्माण गर्न प्लेटफर्मका अन्य भागहरूसँग सहकार्य गर्न ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूमा निर्भर गर्दछ।
उत्कृष्ट कम्पन अवरुद्ध गुणहरू
अर्धचालक उत्पादन कार्यशालामा, परिधीय उपकरणहरू र घुम्ने कर्मचारीहरूको सञ्चालनले कम्पन निम्त्याउन सक्छ। ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूको आन्तरिक संरचना बाक्लो र एकरूप हुन्छ, प्राकृतिक उच्च ड्याम्पिङ विशेषताहरू सहित, कुशल कम्पन "अवरोध" जस्तै। जब बाह्य कम्पन XYZT प्लेटफर्ममा प्रसारित हुन्छ, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टले कम्पन ऊर्जाको 80% भन्दा बढीलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्न सक्छ र प्लेटफर्म गति शुद्धतामा कम्पनको हस्तक्षेप कम गर्न सक्छ। एकै समयमा, प्लेटफर्म उच्च-परिशुद्धता एयर फ्लोट गाइड प्रणालीसँग सुसज्जित छ, जुन ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूसँग संयोजनमा काम गर्दछ। एयर फ्लोट गाइडले प्लेटफर्मको गतिशील भागहरूको सम्पर्करहित निलम्बन आन्दोलनलाई महसुस गर्न र मेकानिकल घर्षणको कारणले हुने सानो कम्पन कम गर्न उच्च दबाव ग्यासद्वारा निर्मित स्थिर ग्यास फिल्म प्रयोग गर्दछ। सँगै, दुईले चिप लिथोग्राफी र एचिंग जस्ता प्रमुख प्रक्रियाहरूमा प्लेटफर्म स्थिति सटीकता सधैं न्यानोमिटर स्तरमा कायम राखिएको सुनिश्चित गर्दछ, र कम्पनको कारणले हुने चिप सर्किट ढाँचाहरूको विचलनबाट बच्न सक्छ।
उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता
कार्यशालामा तापक्रम र आर्द्रताको उतारचढावले चिप निर्माण उपकरणको शुद्धतामा ठूलो प्रभाव पार्छ। ग्रेनाइटको थर्मल विस्तार गुणांक धेरै कम हुन्छ, सामान्यतया ५-७ ×१०⁻⁶/℃ मा, तापक्रम परिवर्तन हुँदा आकार लगभग अपरिवर्तित हुन्छ। कार्यशालामा दिन र रात बीचको तापक्रम भिन्नता वा उपकरणको ताप उत्पादनले परिवेशको तापक्रममा उतारचढाव ल्याउँछ भने पनि, थर्मल विस्तार र संकुचनका कारण प्लेटफर्मको विकृति रोक्न ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरू स्थिर रहन सक्छन्। एकै समयमा, प्लेटफर्मले सुसज्जित बुद्धिमान तापमान नियन्त्रण प्रणालीले वास्तविक समयमा परिवेशको तापक्रम निगरानी गर्दछ, स्वचालित रूपमा वातानुकूलित र ताप अपव्यय उपकरण समायोजन गर्दछ, र कार्यशालाको तापक्रम २०°C ±१°C मा कायम राख्छ। ग्रेनाइट ताप स्थिरताका फाइदाहरूसँग मिलेर, दीर्घकालीन सञ्चालनमा प्लेटफर्म, प्रत्येक अक्षको चाल शुद्धता सधैं चिप निर्माण न्यानोमिटर परिशुद्धता मापदण्डहरू पूरा गर्दछ, चिप लिथोग्राफी ढाँचा आकार सही छ भनी सुनिश्चित गर्न, नक्काशी गहिराइ एकरूप छ।
स्वच्छ वातावरणको आवश्यकताहरू पूरा गर्नुहोस्
धुलोका कणहरूले चिपलाई दूषित हुनबाट रोक्न अर्धचालक उत्पादन पसलले उच्च स्तरको सरसफाइ कायम राख्नु आवश्यक छ। ग्रेनाइट सामग्रीले आफैंमा धुलो उत्पादन गर्दैन, र सतह चिल्लो हुन्छ, धुलो सोस्न सजिलो हुँदैन। बाह्य धुलोको प्रवेश कम गर्न प्लेटफर्मले समग्रमा पूर्ण रूपमा बन्द वा अर्ध-बन्द संरचना डिजाइन अपनाउँछ। आन्तरिक वायु परिसंचरण प्रणाली कार्यशालाको सफा वातानुकूलित प्रणालीसँग जोडिएको छ ताकि आन्तरिक वायु स्वच्छता चिप निर्माणको लागि आवश्यक स्तरमा पुगोस्। यस सफा वातावरणमा, ग्रेनाइट कम्पोनेन्टहरूले धुलो क्षरणको कारणले कार्यसम्पादनलाई असर गर्दैनन्, र प्लेटफर्मको उच्च-परिशुद्धता सेन्सर र मोटरहरू जस्ता प्रमुख कम्पोनेन्टहरूले पनि स्थिर रूपमा सञ्चालन गर्न सक्छन्, चिप निर्माणको लागि निरन्तर र भरपर्दो न्यानोस्केल शुद्धता ग्यारेन्टी प्रदान गर्दछ, र अर्धचालक उद्योगलाई उच्च प्रक्रिया स्तरमा जान मद्दत गर्दछ।
पोस्ट समय: अप्रिल-१४-२०२५