अर्धचालक निर्माणमा, फोटोलिथोग्राफी मेसिन एक प्रमुख उपकरण हो जसले चिप्सको शुद्धता निर्धारण गर्दछ, र ग्रेनाइट आधार, यसको बहु विशेषताहरू सहित, फोटोलिथोग्राफी मेसिनको एक अपरिहार्य घटक बनेको छ।
तापीय स्थिरता: तापक्रम परिवर्तन विरुद्ध "ढाल"
जब फोटोलिथोग्राफी मेसिन सञ्चालनमा हुन्छ, यसले ठूलो मात्रामा ताप उत्पन्न गर्छ। केवल ०.१ डिग्री सेल्सियसको तापक्रम उतारचढावले पनि उपकरणका घटकहरूको विकृति निम्त्याउन सक्छ र फोटोलिथोग्राफी शुद्धतालाई असर गर्न सक्छ। ग्रेनाइटको थर्मल विस्तारको गुणांक अत्यन्तै कम छ, केवल ४-८ ×१०⁻⁶/℃, जुन स्टीलको लगभग १/३ र एल्युमिनियम मिश्र धातुको १/५ हो। यसले फोटोलिथोग्राफी मेसिन लामो समयसम्म सञ्चालन हुँदा वा वातावरणीय तापक्रम परिवर्तन हुँदा ग्रेनाइट आधारलाई आयामी स्थिरता कायम राख्न सक्षम बनाउँछ, अप्टिकल घटकहरू र मेकानिकल संरचनाहरूको सटीक स्थिति सुनिश्चित गर्दै।
सुपर एन्टी-कम्पन प्रदर्शन: कम्पन अवशोषित गर्ने "स्पन्ज"
अर्धचालक कारखानामा, वरपरका उपकरणहरूको सञ्चालन र मानिसहरूको आवागमन सबैले कम्पनहरू उत्पन्न गर्न सक्छन्। ग्रेनाइटमा उच्च घनत्व र कडा बनावट हुन्छ, र यसमा उत्कृष्ट ड्याम्पिङ गुणहरू हुन्छन्, जसको ड्याम्पिङ अनुपात धातुहरूको भन्दा २ देखि ५ गुणा बढी हुन्छ। जब बाह्य कम्पनहरू ग्रेनाइट आधारमा प्रसारित हुन्छन्, आन्तरिक खनिज क्रिस्टलहरू बीचको घर्षणले कम्पन ऊर्जालाई अपव्ययको लागि ताप ऊर्जामा रूपान्तरण गर्दछ, जसले छोटो समयमा कम्पनलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्न सक्छ, जसले फोटोलिथोग्राफी मेसिनलाई द्रुत रूपमा स्थिरता पुनर्स्थापित गर्न र कम्पनको कारणले फोटोलिथोग्राफी ढाँचाको धमिलो वा गलत अलाइनमेन्टबाट बच्न अनुमति दिन्छ।
रासायनिक स्थिरता: स्वच्छ वातावरणको "संरक्षक"
फोटोलिथोग्राफी मेसिनको भित्री भाग विभिन्न रासायनिक माध्यमहरूको सम्पर्कमा आउँछ, र साधारण धातु सामग्रीहरू क्षरण वा कणहरू निस्कने सम्भावना हुन्छ। ग्रेनाइट क्वार्ट्ज र फेल्डस्पार जस्ता खनिजहरू मिलेर बनेको हुन्छ। यसमा स्थिर रासायनिक गुणहरू र बलियो क्षरण प्रतिरोध छ। एसिड र क्षार घोलमा भिजेपछि, सतहको क्षरण अत्यन्तै सानो हुन्छ। यसैबीच, यसको बाक्लो संरचनाले लगभग कुनै पनि मलबे वा धुलो उत्पन्न गर्दैन, उच्चतम क्लिनरूम मापदण्डहरूको आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ र वेफर प्रदूषणको जोखिम कम गर्दछ।
प्रशोधन अनुकूलनता: सटीक बेन्चमार्कहरू सिर्जना गर्नको लागि "आदर्श सामग्री"
फोटोलिथोग्राफी मेसिनका मुख्य कम्पोनेन्टहरू उच्च-परिशुद्धता सन्दर्भ सतहमा स्थापना गर्न आवश्यक छ। ग्रेनाइटको आन्तरिक संरचना एकरूप छ र यसलाई ग्राइन्डिङ, पालिसिङ र अन्य प्रविधिहरू मार्फत अत्यन्त उच्च परिशुद्धतामा प्रशोधन गर्न सजिलो छ। यसको समतलता ≤0.5μm/m पुग्न सक्छ, र सतहको खुरदरापन Ra ≤0.05μm छ, जसले अप्टिकल लेन्स जस्ता कम्पोनेन्टहरूको लागि सटीक स्थापना आधार प्रदान गर्दछ।
लामो आयु र मर्मत-रहित: लागत घटाउने "तीखो उपकरणहरू"
लामो समयसम्म प्रयोग गर्दा थकान र क्र्याक हुने सम्भावना भएका धातुका सामग्रीहरूको तुलनामा, ग्रेनाइटले सामान्य भार अन्तर्गत प्लास्टिकको विकृति वा फ्र्याक्चर कम मात्रामा पार गर्छ, र यसलाई सतह उपचारको आवश्यकता पर्दैन, जसले गर्दा कोटिंग पिलिङ्ग र प्रदूषणको जोखिमबाट बच्न सकिन्छ। व्यावहारिक अनुप्रयोगहरूमा, धेरै वर्षसम्म प्रयोग गरिसकेपछि, ग्रेनाइट आधारको प्रमुख कार्यसम्पादन सूचकहरू अझै पनि स्थिर रहन सक्छन्, जसले गर्दा उपकरणको सञ्चालन र मर्मत लागत घट्छ।
थर्मल स्थिरता, कम्पन प्रतिरोधदेखि रासायनिक जडतासम्म, ग्रेनाइट आधारका बहु विशेषताहरूले फोटोलिथोग्राफी मेसिनको आवश्यकताहरू पूर्ण रूपमा पूरा गर्छन्। चिप निर्माण प्रक्रिया उच्च परिशुद्धता तर्फ विकसित हुँदै जाँदा, ग्रेनाइट आधारहरूले अर्धचालक निर्माणको क्षेत्रमा अपूरणीय भूमिका खेल्न जारी राख्नेछ।
पोस्ट समय: मे-२०-२०२५