अर्धचालक निर्माणको क्षेत्रमा, चिप निर्माण प्रक्रियाको शुद्धता निर्धारण गर्ने मुख्य उपकरणको रूपमा, फोटोलिथोग्राफी मेसिनको आन्तरिक वातावरणको स्थिरता महत्त्वपूर्ण छ। चरम पराबैंगनी प्रकाश स्रोतको उत्तेजनादेखि न्यानोस्केल परिशुद्धता गति प्लेटफर्मको सञ्चालनसम्म, प्रत्येक लिङ्कमा कुनै पनि थोरै विचलन हुन सक्दैन। अद्वितीय गुणहरूको श्रृंखलाको साथ ग्रेनाइट आधारहरूले फोटोलिथोग्राफी मेसिनहरूको स्थिर सञ्चालन सुनिश्चित गर्न र फोटोलिथोग्राफी शुद्धता बढाउनमा अतुलनीय फाइदाहरू प्रदर्शन गर्छन्।
उत्कृष्ट विद्युत चुम्बकीय परिरक्षण प्रदर्शन
फोटोलिथोग्राफी मेसिनको भित्री भाग जटिल विद्युत चुम्बकीय वातावरणले भरिएको हुन्छ। अत्यधिक पराबैंगनी प्रकाश स्रोतहरू, ड्राइभ मोटरहरू, र उच्च-फ्रिक्वेन्सी पावर आपूर्तिहरू जस्ता घटकहरूद्वारा उत्पन्न विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप (EMI), यदि प्रभावकारी रूपमा नियन्त्रण गरिएन भने, उपकरण भित्र सटीक इलेक्ट्रोनिक घटकहरू र अप्टिकल प्रणालीहरूको कार्यसम्पादनलाई गम्भीर रूपमा असर गर्नेछ। उदाहरणका लागि, हस्तक्षेपले फोटोलिथोग्राफी ढाँचाहरूमा थोरै विचलनहरू निम्त्याउन सक्छ। उन्नत उत्पादन प्रक्रियाहरूमा, यो चिपमा गलत ट्रान्जिस्टर जडानहरू निम्त्याउन पर्याप्त हुन्छ, जसले चिपको उत्पादनलाई उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछ।
ग्रेनाइट एक गैर-धातुत्मक पदार्थ हो र यसले आफैंमा बिजुली सञ्चालन गर्दैन। धातुत्मक पदार्थहरूमा जस्तो भित्र मुक्त इलेक्ट्रोनहरूको आन्दोलनबाट हुने कुनै पनि विद्युत चुम्बकीय प्रेरण घटना हुँदैन। यो विशेषताले यसलाई प्राकृतिक विद्युत चुम्बकीय ढाल शरीर बनाउँछ, जसले आन्तरिक विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेपको प्रसारण मार्गलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्न सक्छ। जब बाह्य विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप स्रोतद्वारा उत्पन्न वैकल्पिक चुम्बकीय क्षेत्र ग्रेनाइट आधारमा फैलिन्छ, किनकि ग्रेनाइट गैर-चुम्बकीय हुन्छ र चुम्बकीकृत गर्न सकिँदैन, वैकल्पिक चुम्बकीय क्षेत्र प्रवेश गर्न गाह्रो हुन्छ, जसले गर्दा आधारमा स्थापित फोटोलिथोग्राफी मेसिनको मुख्य घटकहरू, जस्तै परिशुद्धता सेन्सरहरू र अप्टिकल लेन्स समायोजन उपकरणहरूलाई विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेपको प्रभावबाट जोगाउँछ र फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाको क्रममा ढाँचा स्थानान्तरणको शुद्धता सुनिश्चित गर्दछ।
उत्कृष्ट भ्याकुम अनुकूलता
अत्यधिक पराबैंगनी प्रकाश (EUV) हावा सहित सबै पदार्थहरूले सजिलै अवशोषित गर्ने भएकोले, EUV लिथोग्राफी मेसिनहरू भ्याकुम वातावरणमा सञ्चालन हुनुपर्छ। यस बिन्दुमा, भ्याकुम वातावरणसँग उपकरणका घटकहरूको अनुकूलता विशेष रूपमा महत्त्वपूर्ण हुन्छ। भ्याकुममा, सामग्रीहरू पग्लन, अवशोषित र ग्यास छोड्न सक्छन्। निस्कने ग्यासले EUV प्रकाशलाई अवशोषित मात्र गर्दैन, प्रकाशको तीव्रता र प्रसारण दक्षता घटाउँछ, तर अप्टिकल लेन्सहरूलाई पनि दूषित गर्न सक्छ। उदाहरणका लागि, पानीको वाष्पले लेन्सहरूलाई अक्सिडाइज गर्न सक्छ, र हाइड्रोकार्बनहरूले लेन्सहरूमा कार्बन तहहरू जम्मा गर्न सक्छन्, जसले लिथोग्राफीको गुणस्तरलाई गम्भीर रूपमा असर गर्छ।
ग्रेनाइटमा स्थिर रासायनिक गुणहरू हुन्छन् र भ्याकुम वातावरणमा यसले ग्यास छोड्न सक्दैन। व्यावसायिक परीक्षणका अनुसार, सिमुलेटेड फोटोलिथोग्राफी मेसिन भ्याकुम वातावरणमा (जस्तै अल्ट्रा-क्लिन भ्याकुम वातावरण जसमा मुख्य चेम्बरमा इल्युमिनेशन अप्टिकल प्रणाली र इमेजिङ अप्टिकल प्रणाली अवस्थित हुन्छ, जसलाई H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa आवश्यक पर्दछ), ग्रेनाइट आधारको आउटग्यासिङ दर अत्यन्तै कम हुन्छ, धातुहरू जस्ता अन्य सामग्रीहरूको तुलनामा धेरै कम। यसले फोटोलिथोग्राफी मेसिनको भित्री भागलाई लामो समयसम्म उच्च भ्याकुम डिग्री र सफाई कायम राख्न सक्षम बनाउँछ, प्रसारणको समयमा EUV प्रकाशको उच्च प्रसारण र अप्टिकल लेन्सहरूको लागि अल्ट्रा-क्लिन प्रयोग वातावरण सुनिश्चित गर्दछ, अप्टिकल प्रणालीको सेवा जीवन विस्तार गर्दछ, र फोटोलिथोग्राफी मेसिनको समग्र कार्यसम्पादन बढाउँछ।
बलियो कम्पन प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता
फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाको क्रममा, न्यानोमिटर स्तरमा शुद्धताका लागि फोटोलिथोग्राफी मेसिनमा थोरै पनि कम्पन वा थर्मल विकृति हुनु हुँदैन। कार्यशालामा अन्य उपकरणहरू र कर्मचारीहरूको आवागमनबाट उत्पन्न हुने वातावरणीय कम्पनहरू, साथै सञ्चालनको क्रममा फोटोलिथोग्राफी मेसिन आफैंले उत्पादन गर्ने तापले फोटोलिथोग्राफी शुद्धतामा हस्तक्षेप गर्न सक्छ। ग्रेनाइटमा उच्च घनत्व र कडा बनावट छ, र यसमा उत्कृष्ट कम्पन प्रतिरोध छ। यसको आन्तरिक खनिज क्रिस्टल संरचना कम्प्याक्ट छ, जसले कम्पन ऊर्जालाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्न सक्छ र कम्पन प्रसारलाई द्रुत रूपमा दबाउन सक्छ। प्रयोगात्मक डेटाले देखाउँछ कि एउटै कम्पन स्रोत अन्तर्गत, ग्रेनाइट आधारले ०.५ सेकेन्ड भित्र कम्पन आयामलाई ९०% भन्दा बढीले घटाउन सक्छ। धातु आधारको तुलनामा, यसले उपकरणलाई छिटो स्थिरतामा पुनर्स्थापित गर्न सक्छ, फोटोलिथोग्राफी लेन्स र वेफर बीचको सटीक सापेक्षिक स्थिति सुनिश्चित गर्दै, र कम्पनबाट हुने ढाँचा धमिलो वा गलत अलाइनमेन्टबाट बच्न सक्छ।
यसैबीच, ग्रेनाइटको थर्मल विस्तारको गुणांक अत्यन्तै कम छ, लगभग (४-८) ×१०⁻⁶/℃, जुन धातुजन्य पदार्थहरूको भन्दा धेरै कम छ। फोटोलिथोग्राफी मेसिनको सञ्चालनको क्रममा, प्रकाश स्रोतबाट ताप उत्पादन र मेकानिकल कम्पोनेन्टहरूबाट घर्षण जस्ता कारकहरूको कारणले आन्तरिक तापक्रममा उतारचढाव भए पनि, ग्रेनाइट आधारले आयामी स्थिरता कायम राख्न सक्छ र थर्मल विस्तार र संकुचनका कारण महत्त्वपूर्ण विकृतिबाट गुज्रने छैन। यसले अप्टिकल प्रणाली र सटीक गति प्लेटफर्मको लागि स्थिर र भरपर्दो समर्थन प्रदान गर्दछ, फोटोलिथोग्राफी शुद्धताको स्थिरता कायम राख्दै।
पोस्ट समय: मे-२०-२०२५