उच्च-अन्त उत्पादन र अत्याधुनिक वैज्ञानिक अनुसन्धानको क्षेत्रमा, एयर फ्लोटको अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युल यसको उत्कृष्ट परिशुद्धता प्रदर्शनको साथ राम्रो सञ्चालन र मापनको लागि एक प्रमुख उपकरण बनेको छ। ग्रेनाइट परिशुद्धता आधार, समर्थन कोरको रूपमा, काम गर्ने वातावरणको लागि कडा आवश्यकताहरू छन्, र उपयुक्त वातावरणीय अवस्थाहरू यसको स्थिर प्रदर्शन र उत्तम प्रभाव सुनिश्चित गर्ने आधार हुन्।
पहिलो, तापक्रम नियन्त्रण: सटीक "स्थिरता"
ग्रेनाइट यसको स्थिरताको लागि परिचित भए पनि, यो तापक्रम परिवर्तनबाट पूर्ण रूपमा प्रतिरक्षा छैन। यद्यपि यसको थर्मल विस्तारको गुणांक कम छ, सामान्यतया 5-7 ×10⁻⁶/℃, अल्ट्रा-परिशुद्धता गति नियन्त्रण परिदृश्यहरूमा, सूक्ष्म तापमान उतार-चढ़ावले अझै पनि आयामी परिवर्तनहरू निम्त्याउन सक्छ र मोड्युल शुद्धतालाई असर गर्न सक्छ। अर्धचालक चिप निर्माण कार्यशालामा, लिथोग्राफी प्रक्रियालाई दानामी-स्तरको स्थिति शुद्धता चाहिन्छ, र परिवेशको तापक्रम 1 ° C ले उतार-चढ़ाव हुन्छ, र 1 मिटरको साइड लम्बाइ भएको ग्रेनाइट आधारले 5-7 माइक्रोनको रेखीय विस्तार वा संकुचन उत्पादन गर्न सक्छ। यो सानो परिवर्तन एयर फ्लोटको अल्ट्रा-परिशुद्धता गति मोड्युलद्वारा प्रसारित हुन्छ, जुन चिप लिथोग्राफी ढाँचा विचलन बनाउन र उपजलाई धेरै कम गर्न पर्याप्त छ। त्यसकारण, हावामा तैरने अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युलको ग्रेनाइट प्रेसिजन बेसले सुसज्जित, आदर्श कार्य वातावरणको तापक्रम २० डिग्री सेल्सियस ±१ डिग्री सेल्सियसमा नियन्त्रण गर्नुपर्छ, उच्च-परिशुद्धता स्थिर तापक्रम उपकरणहरू, जस्तै स्थिर तापक्रम र आर्द्रता वातानुकूलित प्रणाली, परिवेशको तापक्रमको निरन्तर अनुगमन र समायोजनको मद्दतले, धेरै सानो दायरामा तापक्रम उतारचढाव सुनिश्चित गर्न, आधार आकार स्थिरता कायम राख्न, मोड्युल उच्च-परिशुद्धता सञ्चालन सुनिश्चित गर्न।
दोस्रो, आर्द्रता व्यवस्थापन: आर्द्रता-प्रमाण सुरक्षा "ढुङ्गा" को कुञ्जी
आर्द्रता सटीक ग्रेनाइट आधारको कार्यसम्पादनलाई असर गर्ने अर्को महत्त्वपूर्ण कारक हो। उच्च आर्द्रता भएको वातावरणमा, ग्रेनाइटले पानीको वाष्प सजिलै अवशोषित गर्छ, जसले सतहमा संक्षेपण निम्त्याउन सक्छ, जसले ग्रेनाइटको जडान स्थिरता र एयर फ्लोटको अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युललाई मात्र असर गर्दैन, तर लामो समयसम्म सतहको क्षरण र चमक र शुद्धता पनि घटाउन सक्छ। अप्टिकल लेन्स ग्राइन्डिङ कार्यशालामा, यदि आर्द्रता लामो समयसम्म ६०% RH भन्दा बढी छ भने, ग्रेनाइट आधारको सतहमा सोसिएको पानीको वाष्पले ग्यास फ्लोट स्लाइडरको चालमा हस्तक्षेप गर्नेछ, जसले गर्दा लेन्स ग्राइन्डिङ शुद्धता कम हुन्छ, र सतह त्रुटिपूर्ण हुन्छ। त्यसकारण, काम गर्ने वातावरणको सापेक्षिक आर्द्रता ४०%-६०% RH बीचमा कडाइका साथ नियन्त्रण गरिनुपर्छ, जुन उच्च आर्द्रताको कारणले ग्रेनाइट आधारमा क्षति हुनबाट बच्न र एयर फ्लोटको अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युलको सहज सञ्चालन सुनिश्चित गर्न डिह्युमिडिफायर, आर्द्रता सेन्सर र अन्य उपकरणहरू स्थापना गरेर वास्तविक समयमा निगरानी र समायोजन गर्न सकिन्छ।
तेस्रो, सरसफाइको ग्यारेन्टी: शुद्धताको "संरक्षक"
एयर फ्लोटेसनको अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मोड्युलको प्रेसिजन ग्रेनाइट बेसमा धुलोका कणहरूको हानिलाई कम आँकलन गर्न सकिँदैन। एकपटक साना कणहरू ग्यास फ्लोट स्लाइडर र ग्रेनाइट बेस बीचको ग्यास फिल्म खाडलमा प्रवेश गरेपछि, तिनीहरूले ग्यास फिल्मको एकरूपतालाई नष्ट गर्न, घर्षण बढाउन र आधारको सतहलाई पनि स्क्र्याच गर्न सक्छन्, जसले गर्दा गति शुद्धता कम हुन्छ। एयरोस्पेस पार्ट्सको अल्ट्रा-प्रिसिजन मेसिनिङ कार्यशालामा, यदि हावामा रहेका धुलोका कणहरू ग्रेनाइट आधारमा खस्छन् भने, मेसिनिङ उपकरणको गति प्रक्षेपण विचलित हुन सक्छ, जसले भागहरूको मेसिनिङ शुद्धतालाई असर गर्छ। त्यसकारण, कार्य क्षेत्रलाई अत्यधिक सफा राख्नुपर्छ, १०,००० वा सोभन्दा बढी स्तरको सरसफाइ मापदण्डमा पुग्नुपर्छ, उच्च दक्षता एयर फिल्टर (HEPA) जस्ता वायु शुद्धीकरण उपकरणहरू स्थापना गरेर, हावामा रहेका धुलोका कणहरूलाई फिल्टर गरेर, एकै समयमा, कर्मचारीहरूले धुलो-रहित लुगा, जुत्ता कभर, आदि लगाउनु पर्छ, जसले गर्दा मानिसहरूले ल्याएको धुलो कम हुन्छ। ग्रेनाइट बेस र एयर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मोड्युलको उच्च परिशुद्धता सञ्चालन वातावरण कायम राख्नुहोस्।
चौथो, कम्पन अलगाव: "शक प्याड" को सहज सञ्चालन
बाह्य कम्पन एयर फ्लोटको अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युलको परिशुद्धताको शत्रु हो। यद्यपि प्रेसिजन ग्रेनाइट आधारमा निश्चित कम्पन क्षीणन क्षमता हुन्छ, उच्च-शक्ति कम्पनले अझै पनि यसको बफर सीमा तोड्न सक्छ। कारखाना वरिपरिको ट्राफिक र ठूला मेकानिकल उपकरणहरूको सञ्चालनबाट उत्पन्न हुने कम्पन जमिन मार्फत ग्रेनाइट आधारमा प्रसारित हुन्छ, जसले एयर फ्लोटको अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युलको गति शुद्धतामा हस्तक्षेप गर्नेछ। उच्च-अन्त CMM मा, कम्पनले मापन प्रोब र मापन गरिएको वर्कपीस बीचको सम्पर्कलाई अस्थिर बनाउन सक्छ, जसको परिणामस्वरूप मापन डेटाको विचलन हुन्छ। यो समस्या समाधान गर्न, उपकरण स्थापना क्षेत्रमा कम्पन आइसोलेसन प्याडहरू राख्ने, कम्पन आइसोलेसन फाउन्डेसन निर्माण गर्ने, वा सक्रिय कम्पन आइसोलेसन प्रणाली प्रयोग गरेर बाह्य कम्पनलाई सक्रिय रूपमा अफसेट गर्ने, र ग्रेनाइट प्रेसिजन आधार र एयर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युलको लागि शान्त र स्थिर काम गर्ने वातावरण सिर्जना गर्ने जस्ता प्रभावकारी कम्पन आइसोलेसन उपायहरू अपनाउनु आवश्यक छ।
तापक्रम, आर्द्रता, सरसफाई र कम्पन नियन्त्रणको वातावरणीय आवश्यकताहरू पूर्ण रूपमा पूरा गरेर मात्र, एयर फ्लोटको अल्ट्रा-प्रिसिजन गति मोड्युलको ग्रेनाइट प्रेसिजन बेसले यसको कार्यसम्पादन फाइदाहरूलाई पूर्ण रूपमा खेल्न सक्छ, विभिन्न क्षेत्रहरूमा अल्ट्रा-प्रिसिजन सञ्चालनको लागि भरपर्दो ग्यारेन्टी प्रदान गर्न सक्छ, र उद्योगलाई उच्च परिशुद्धता उत्पादन र वैज्ञानिक अनुसन्धान स्तर तर्फ अघि बढ्न मद्दत गर्दछ।
पोस्ट समय: अप्रिल-०८-२०२५