ग्रेनाइट प्रेसिजन प्लेटफर्महरूको समतलताको लागि पत्ता लगाउने विधिहरू।

सटीक उत्पादन र वैज्ञानिक अनुसन्धानको क्षेत्रमा, ग्रेनाइट प्रेसिजन प्लेटफर्महरूको समतलता उपकरणको शुद्धता सुनिश्चित गर्न एक प्रमुख सूचक हो। तपाईंको लागि धेरै मुख्यधारा पत्ता लगाउने विधिहरू र तिनीहरूको सञ्चालन प्रक्रियाहरूको विस्तृत परिचय निम्नमा दिइएको छ।
I. लेजर इन्टरफेरोमिटर पत्ता लगाउने विधि
लेजर इन्टरफेरोमिटर उच्च-परिशुद्धता समतलता पत्ता लगाउनको लागि मनपर्ने उपकरण हो। ZYGO GPI XP लेजर इन्टरफेरोमिटरलाई उदाहरणको रूपमा लिनुहोस्, यसको रिजोल्युसन ०.१nm पुग्न सक्छ। पत्ता लगाउँदा, पहिले इन्टरफेरोमिटरको प्रकाश स्रोतलाई प्लेटफर्मसँग पङ्क्तिबद्ध गर्नुहोस् र प्लेटफर्मको सतहलाई ५०mm×५०mm ग्रिड क्षेत्रहरूमा विभाजन गर्नुहोस्। त्यसपछि, हस्तक्षेप फ्रिन्ज डेटा बिन्दुद्वारा बिन्दु सङ्कलन गरियो, र समतलता त्रुटि प्राप्त गर्न Zernike बहुपद प्रयोग गरेर डेटा फिट र विश्लेषण गरियो। यो विधि उच्च-परिशुद्धता प्लेटफर्महरूमा लागू हुन्छ र ≤०.५μm/m² को समतलता त्रुटिहरू पत्ता लगाउन सक्छ। यो सामान्यतया फोटोलिथोग्राफी मेसिनहरू र उच्च-अन्त तीन-समन्वय मापन मेसिन प्लेटफर्महरूको पत्ता लगाउन प्रयोग गरिन्छ। ​
II. इलेक्ट्रोनिक लेभल एरे विधि
इलेक्ट्रोनिक लेभल एरे पत्ता लगाउने सुविधा सञ्चालन गर्न सरल र अत्यधिक कुशल छ। TESA A2 इलेक्ट्रोनिक लेभल (०.०१μm/m को रिजोल्युसन भएको) चयन गरिएको थियो र प्लेटफर्मको X/Y अक्ष दिशामा ९×९ एरेमा व्यवस्थित गरिएको थियो। प्रत्येक लेभलको झुकाव डेटा समकालिक रूपमा सङ्कलन गरेर र त्यसपछि गणनाको लागि न्यूनतम वर्ग विधि प्रयोग गरेर, समतलता मान सही रूपमा प्राप्त गर्न सकिन्छ। यो विधिले प्लेटफर्मको स्थानीय उत्तलता र उत्तलता अवस्थाहरू प्रभावकारी रूपमा पहिचान गर्न सक्छ। उदाहरणका लागि, ५० मिमी दायरा भित्र ०.२μm को उतारचढाव पनि पत्ता लगाउन सकिन्छ, जुन ठूलो उत्पादनमा द्रुत पत्ता लगाउनको लागि उपयुक्त छ। ​
IIII. अप्टिकल फ्ल्याट क्रिस्टल विधि
अप्टिकल फ्ल्याट क्रिस्टल विधि सानो क्षेत्र प्लेटफर्महरूको पहिचानको लागि उपयुक्त छ। प्लेटफर्ममा परीक्षण गर्नको लागि अप्टिकल फ्ल्याट क्रिस्टललाई सतहमा कडा रूपमा जोड्नुहोस् र मोनोक्रोमेटिक प्रकाश स्रोत (जस्तै सोडियम बत्ती) को रोशनीमा तिनीहरू बीच बनेको हस्तक्षेप फ्रिन्जहरू अवलोकन गर्नुहोस्। यदि स्ट्रिपहरू समानान्तर सीधा स्ट्रिपहरू छन् भने, यसले राम्रो समतलतालाई संकेत गर्दछ। यदि घुमाउरो स्ट्रिपहरू देखा पर्छन् भने, स्ट्रिप वक्रताको डिग्रीको आधारमा समतलता त्रुटि गणना गर्नुहोस्। प्रत्येक घुमाउरो स्ट्रिपले ०.३१६μm को उचाइ भिन्नता प्रतिनिधित्व गर्दछ, र समतलता डेटा सरल रूपान्तरण मार्फत प्राप्त गर्न सकिन्छ।
चार. तीन-समन्वय मापन मेसिन निरीक्षण विधि
तीन-समन्वय मापन मेसिनले त्रि-आयामिक ठाउँमा उच्च-परिशुद्धता मापन प्राप्त गर्न सक्छ। ग्रेनाइट प्लेटफर्मलाई मापन मेसिनको कार्य तालिकामा राख्नुहोस् र प्लेटफर्मको सतहमा धेरै मापन बिन्दुहरूबाट समान रूपमा डेटा सङ्कलन गर्न प्रोब प्रयोग गर्नुहोस्। मापन मेसिन प्रणालीले प्लेटफर्मको समतलता रिपोर्ट उत्पन्न गर्न यी डेटालाई प्रशोधन र विश्लेषण गर्दछ। यो विधिले समतलता मात्र पत्ता लगाउन सक्दैन, तर प्लेटफर्मको अन्य ज्यामितीय प्यारामिटरहरू पनि एकै साथ प्राप्त गर्न सक्छ, र ठूला ग्रेनाइट प्लेटफर्महरूको व्यापक पत्ता लगाउनको लागि उपयुक्त छ।
यी पत्ता लगाउने विधिहरूमा निपुणता हासिल गर्नाले तपाईंलाई ग्रेनाइट प्रेसिजन प्लेटफर्मको समतलताको सही मूल्याङ्कन गर्न र प्रेसिजन उपकरणहरूको स्थिर सञ्चालनको लागि भरपर्दो ग्यारेन्टी प्रदान गर्न मद्दत गर्न सक्छ।