अर्धचालक निर्माणमा सटीक क्रान्ति: जब ग्रेनाइटले माइक्रोन प्रविधिलाई भेट्छ
१.१ पदार्थ विज्ञानमा अप्रत्याशित खोजहरू
२०२३ को SEMI इन्टरनेशनल सेमीकन्डक्टर एसोसिएसनको रिपोर्ट अनुसार, विश्वका ६३% उन्नत फ्याबहरूले परम्परागत धातु प्लेटफर्महरूको सट्टा ग्रेनाइट आधारहरू प्रयोग गर्न थालेका छन्। पृथ्वीको गहिराइमा म्याग्मा कन्डेन्सेसनबाट उत्पन्न हुने यो प्राकृतिक ढुङ्गाले यसको अद्वितीय भौतिक गुणहरूको कारणले अर्धचालक निर्माणको इतिहासलाई पुनर्लेखन गरिरहेको छ:
थर्मल जडत्वको फाइदा: ग्रेनाइट ४.५×१०⁻⁶/℃ को थर्मल विस्तार गुणांक स्टेनलेस स्टीलको १/५ मात्र हो, र लिथोग्राफी मेसिनको निरन्तर काममा ±०.००१ मिमीको आयामी स्थिरता कायम राखिन्छ।
कम्पन ड्याम्पिङ विशेषताहरू: आन्तरिक घर्षण गुणांक कास्ट आइरनको भन्दा १५ गुणा बढी हुन्छ, जसले उपकरणको सूक्ष्म-कम्पनलाई प्रभावकारी रूपमा अवशोषित गर्दछ।
शून्य चुम्बकीकरण प्रकृति: लेजर मापनमा चुम्बकीय त्रुटि पूर्ण रूपमा हटाउनुहोस्।
१.२ मेरोबाट फेबसम्मको रूपान्तरण यात्रा
शानडोङमा रहेको ZHHIMG को बुद्धिमान उत्पादन आधारलाई उदाहरणको रूपमा लिँदा, कच्चा ग्रेनाइटको टुक्रालाई निम्न कुराहरूबाट गुज्रनु पर्छ:
अति-परिशुद्धता मेसिनिङ: २०० घण्टा निरन्तर मिलिङको लागि पाँच-अक्ष लिंकेज मेसिनिङ केन्द्र, Ra०.००८μm सम्म सतह खस्रोपन
कृत्रिम बुढ्यौली उपचार: स्थिर तापक्रम र आर्द्रता कार्यशालामा ४८ घण्टा प्राकृतिक तनाव मुक्ति, जसले उत्पादनको स्थिरतालाई ४०% ले सुधार गर्छ।
दोस्रो, अर्धचालक निर्माण "रक समाधान" को छ वटा परिशुद्धता समस्याहरू समाधान गर्नुहोस्।
२.१ वेफर खण्डीकरण दर घटाउने योजना
केस प्रदर्शन: जर्मनीको चिप फाउन्ड्रीले हाम्रो ग्यास फ्लोटिंग ग्रेनाइट प्लेटफर्म अपनाएपछि:
| वेफर व्यास | चिप दर घटाउने | समतलता सुधार |
| १२ इन्च | ६७% | ≤०.००१ मिमी |
| १८ इन्च | ८२% | ≤०.०००५ मिमी |
२.२ लिथोग्राफिक पङ्क्तिबद्धता शुद्धता सफलता योजना
तापमान क्षतिपूर्ति प्रणाली: एम्बेडेड सिरेमिक सेन्सरले वास्तविक समयमा आकार चरको निगरानी गर्दछ र स्वचालित रूपमा प्लेटफर्म झुकाव समायोजन गर्दछ।
मापन गरिएको डेटा: २८℃±५℃ को उतारचढाव अन्तर्गत, इम्बेडिङ शुद्धता ०.१२μm भन्दा कममा उतारचढाव हुन्छ।
पोस्ट समय: मार्च-२४-२०२५