कुनै पनि अर्धचालक उपकरण इन्जिनियरलाई सोध्नुहोस् कि तिनीहरूलाई के ले जागा राख्छ, र जवाफ विरलै गति प्रणाली वा अप्टिक्स हुन्छ। यो मेसिन उभिएको भुइँ हो। कागजमा २ न्यानोमिटरको स्थिति राख्ने वेफर स्टेजलाई अझै पनि एउटा आधार चाहिन्छ जुन यसको मुनि बहने, घण्टी बज्ने वा न्यानो नहुने हुन्छ।
त्यो आधार सामान्यतया कालो ग्रेनाइट हुन्छ। ग्रेनाइट फेसनशील भएकोले होइन, तर किनभने यसले एकैचोटि तीनवटा काम गर्छ जुन कुनै पनि धातुले गर्दैन: तापक्रम बढ्दा यो स्थिर रहन्छ, यसले कम्पनलाई पार गर्नुको सट्टा निल्छ, र यो २४/७ चलिरहेको दशकमा खिया लाग्दैन वा घिस्रिँदैन। यो ZHHIMG ले बनाउने उपकरणको भाग हो।
ZHHIMG प्लान्टमा ठूलो कालो ग्रेनाइट प्लेट जाँच गरिँदैछ - समतलता उपकरणहरूले प्रमाणित गरिन्छ, वाचाले होइन।
समस्या बल होइन, स्थिरताको हो
अर्धचालक उपकरण भारी हुँदैन किनभने यसलाई बलियो चाहिन्छ। यो भारी हुन्छ किनभने यसलाई स्थिरता चाहिन्छ। मोटरहरू चल्दा, कोठा न्यानो र चिसो हुँदा, र यो महिनौंसम्म बिना विराम चल्दा उपकरणले आफ्नो ज्यामितिलाई धारण गर्नुपर्छ।
स्टील र कास्ट आइरन तापक्रमसँगै सर्छन्। तिनीहरू घण्टी पनि बजाउँछन्। भाइरस भन्दा साना सुविधाहरू मापन गर्ने उपकरणमा, घण्टी बजाउने आधार असफल हुने आधार हो। लक्ष्य भनेको स्थापनाको दिनमा मात्र होइन, वर्षभरि सन्दर्भ सतह रहन्छ।
किन कालो ग्रेनाइट जित्छ?
हाम्रो कालो ग्रेनाइट लगभग घनत्वमा चल्छ३,१०० किलोग्राम/वर्गमिटर। उच्च घनत्व भनेको कम छिद्र हुनु हो। कम छिद्र हुनु भनेको ढुङ्गाले ओसिलोपन सोस्दैन, आर्द्र सफा कोठामा फुल्दैन, र मौसम परिवर्तन हुँदा परिवर्तन हुँदैन।
तीनवटा थप गुणहरू पनि उत्तिकै महत्त्वपूर्ण छन्। ग्रेनाइटको थर्मल विस्तार कम हुन्छ, त्यसैले तापक्रमको स्विङले यसलाई धातुको तुलनामा धेरै कम सार्छ। यसमा उच्च आन्तरिक ड्याम्पिङ हुन्छ, त्यसैले कम्पन वेफरमा यात्रा गर्नुको सट्टा तापमा परिणत हुन्छ। र यो गैर-चुम्बकीय र गैर-खिया लाग्ने छ, त्यसैले यसले सेन्सरहरूलाई बाधा पुर्याउँदैन वा समयसँगै जंग छोड्दैन। न्यानोमिटरहरू समात्नुपर्ने उपकरणको लागि, त्यो सम्पूर्ण खेल हो।
जहाँ ग्रेनाइट अर्धचालक उपकरणमा बस्छ
हामी उपकरणका भागहरूको लागि ग्रेनाइट आपूर्ति गर्छौं जहाँ शुद्धता निर्धारण गरिन्छ। यसमा वेफर निरीक्षण र मेट्रोलोजी चरणहरू, लिथोग्राफी र लेजर प्लेटफर्महरू, बन्डिङ र प्याकेजिङ उपकरणहरू, CMP र समतलीकरण फ्रेमहरू, रग्रेनाइट ग्यान्ट्री प्रणालीहरूजसले वर्कपीसमा अप्टिक्स र प्रोबहरू बोक्छ।
एउटै सामग्रीले PCB ड्रिलिंग, अप्टिकल निरीक्षण, र परिशुद्धता एसेम्बलीको लागि मेसिन आधारहरूलाई पनि आधार दिन्छ। फरक उपकरणहरू, एउटै आवश्यकता: मापनसँग तर्क नगर्ने सन्दर्भ।
वेफर चरण निर्धारण गर्ने विवरणहरू
ग्रेनाइटको ब्लक कुनै कम्पोनेन्ट होइन। यसको वरिपरिको कामले यसलाई एक बनाउँछ। हामी थ्रेडेड इन्सर्टहरू, भ्याकुम च्यानलहरू, एयर-बेयरिङ पकेटहरू, केबल रुटहरू र माउन्टिङ प्लेनहरूलाई ढुङ्गामा मेसिन गर्छौं, त्यसपछि तिनीहरू बीचको ज्यामितिलाई रेखाचित्रमा समात्छौं।
प्वालहरू र इन्सर्टहरू सेट गरिएका छन् ताकि स्टेज, अप्टिक्स र ट्राभल रेलहरू साइटमा शिम नगरी पङ्क्तिबद्ध हुन्छन्। स्ल्याब र ए बीचको भिन्नता यही हो।सटीक ग्रेनाइट घटक— र यही कारणले गर्दा उपकरण निर्माणकर्ताहरूले हामीलाई बाहिरी आयामहरू मात्र नभई इन्टरफेस रेखाचित्र पठाउँछन्।
माइक्रोन पढ्ने हात
ग्रेनाइट प्लेटमा समतलता अझै पनि हातले नै समाप्त हुन्छ। हाम्रा मास्टर ह्यान्ड-ल्यापरहरूले तीस वर्षसम्म बेन्चमा काम गरेका छन्। तिनीहरूले माइक्रोन स्तरमा उच्च स्थान महसुस गर्न सक्छन्, यो पुष्टि गर्न उपकरण बोलाउनुभन्दा धेरै अघि।
हामी त्यो सीपलाई सुरुवात बिन्दुको रूपमा व्यवहार गर्छौं, प्रमाणपत्रको रूपमा होइन। हातले प्रस्ताव गर्छ; उपकरणले निपटान गर्छ। त्यसपछि प्रत्येक महत्वपूर्ण सतह हाम्रो निरीक्षण लाइनमा मापन गरिन्छ, जुन उपकरणमा चल्छमहर (जर्मनी), वायलर (स्विजरल्याण्ड) र रेनिशा (बेलायत)। संख्याहरू रेखाचित्रसँग मेल नखाएसम्म केही पनि पठाइँदैन।
प्रमाणित, पेटेन्ट गरिएको, र लेखापरीक्षण गर्न निर्मित
ZHHIMG यस क्षेत्रको एक मात्र कम्पनी हो जसले एकै समयमा ISO 9001, ISO 45001, ISO 14001 र CE प्रमाणीकरण राख्छ, जसलाई २० भन्दा बढी अन्तर्राष्ट्रिय पेटेन्टहरूद्वारा समर्थित छ। अर्धचालक ग्राहकहरूले कडा लेखा परीक्षण गर्छन्, र हामी चाहन्छौं कि उनीहरूले सबै कुरा जाँच गरून्।
हाम्रोसटीक ग्रेनाइटGE, Samsung र Oracle जस्ता कम्पनीहरूले प्रयोग गर्छन्, र सिंगापुरको राष्ट्रिय विश्वविद्यालय र बेलायत, जर्मनी र अमेरिकाका राष्ट्रिय नाप विज्ञान संस्थानहरू लगायतका संस्थाहरूसँग अनुसन्धान गरिएको छ। जब राष्ट्रिय नाप विज्ञान प्रयोगशालाले सामग्री मापन गर्छ, सहनशीलता एक मापन गरिएको तथ्य हो, मार्केटिङ संख्या होइन। कुनै धोखाधडी छैन, कुनै लुकाउने छैन, कुनै भ्रामक छैन - हामी यसरी काम गर्छौं।
किन निर्माणकर्ताहरू फेरि आउँछन्
जब अर्धचालक उपकरण पठाइन्छ, आधार त्यो भाग हो जुन कसैले पनि पुन: निर्दिष्ट गर्दैन। यो काम गर्छ, वा सम्पूर्ण मेसिन स्क्र्याप हुन्छ। निर्माणकर्ताहरू ZHHIMG मा फर्कन्छन् किनभने संख्याहरू समात्छन्, फिनिश समात्छन्, र ज्यामितिले प्लेटफर्मको जीवनभर समात्छन्।
यदि तपाईं स्टेज, ग्यान्ट्री वा मेसिन बेस डिजाइन गर्दै हुनुहुन्छ भने, हामीलाई शुद्धता बजेट, भार र वातावरण पठाउनुहोस्। हाम्रा इन्जिनियरहरूले काममा ग्रेनाइट ग्रेड, मोटाई र इन्सर्ट लेआउट मिलाउनेछन् — र तपाईंलाई यो प्रमाणित गर्न मापन डेटा दिनेछन्। हाम्रो अन्वेषण गर्नुहोस्अति-उच्च-परिशुद्धता ग्रेनाइट समाधानहरूसुरु गर्न।
पोस्ट समय: सेप्टेम्बर-१७-२०२६